公开(公告)号：CN101421814B

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：CN200780013079.X

申请日：2007-04-10

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 维克托·本维尼斯特 ,  爱德华·艾斯纳 ,  波·范德贝里

IPC: H01J37/304 ,  H01J37/317 ,  G21K5/10

CPC classification number: H01J37/3171 ,  G21K5/04 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/3045 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/31703

Abstract: 本发明的实施例是关于一种用于调整被扫描离子射束的带状射束通量的方法。于此方法中，会以一扫描速率来扫描离子射束，而且会在扫描该离子射束时来测量多个动态射束轮廓。经修正的扫描速率会依据该被扫描离子射束的该多个经测量动态射束轮廓而被算出。该离子射束会以该经校正的扫描速率来扫描，以便产生经修正的带状离子射束。本发明还揭示其它方法与系统。

公开(公告)号：CN101421814A

公开(公告)日：2009-04-29

申请号：CN200780013079.X

申请日：2007-04-10

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 维克托·本维尼斯特 ,  爱德华·艾斯纳 ,  波·范德贝里

IPC: H01J37/304 ,  H01J37/317 ,  G21K5/10

CPC classification number: H01J37/3171 ,  G21K5/04 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/3045 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/31703

Abstract: 本发明的实施例是关于一种用于调整被扫描离子射束的带状射束通量的方法。于此方法中，会以一扫描速率来扫描离子射束，而且会在扫描该离子射束时来测量多个动态射束轮廓。经修正的扫描速率会依据该被扫描离子射束的该多个经测量动态射束轮廓而被算出。该离子射束会以该经校正的扫描速率来扫描，以便产生经修正的带状离子射束。本发明还揭示其它方法与系统。