公开(公告)号：CN101553897B

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN200780035716.3

申请日：2007-09-13

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 波·凡德尔贝格 ,  派崔克·史皮林特尔

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/1471 ,  H01J37/04 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0475 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/3045 ,  H01J2237/31703

Abstract: 一种离子注入系统(410)的平行化部件(439)包括两个成角度的双极磁铁(439a、439b)，其彼此成镜像且用于弯曲横越其中的离子束(424)，以具有大致“s”形状。这种s弯曲用于从束中滤除杂质，同时所述双极平行化所述束以帮助在晶片(430)上有均匀的注入性能，例如注入角度。另外，在注入系统的末端处还包含减速级(457)，使得束的能量可在整个束线中均保持非常高，以减轻束扩散。

公开(公告)号：CN101553897A

公开(公告)日：2009-10-07

申请号：CN200780035716.3

申请日：2007-09-13

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 波·凡德尔贝格 ,  派崔克·史皮林特尔

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/1471 ,  H01J37/04 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0475 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/3045 ,  H01J2237/31703

Abstract: 一种离子注入系统(410)的平行化部件(439)包括两个成角度的双极磁铁(439a、439b)，其彼此成镜像且用于弯曲横越其中的离子束(424)，以具有大致“s”形状。这种s弯曲用于从束中滤除杂质，同时所述双极平行化所述束以帮助在晶片(430)上有均匀的注入性能，例如注入角度。另外，在注入系统的末端处还包含减速级(457)，使得束的能量可在整个束线中均保持非常高，以减轻束扩散。