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公开(公告)号：CN105742161B
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201510959023.X
申请日：2015-12-18
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限责任公司 , 陶氏环球技术有限责任公司
IPC: H01L21/027
Abstract: 本文中公开一种包括将包括嵌段共聚物的组合物安置于衬底上的方法；其中所述嵌段共聚物包括第一聚合物和第二聚合物；其中所述嵌段共聚物的所述第一聚合物和所述第二聚合物彼此不同，并且所述嵌段共聚物形成相分离结构；和添加剂聚合物；其中所述添加剂聚合物包括可有效与其上安置所述添加剂聚合物的衬底反应的反应性部分；并且其中所述添加剂聚合物包括化学上和结构上与所述嵌段共聚物中的一种聚合物相同的均聚物，或其中所述添加剂聚合物包括与所述嵌段共聚物的一个嵌段具有优先相互作用的无规共聚物；和溶剂；和使所述组合物退火。
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公开(公告)号：CN105742161A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201510959023.X
申请日：2015-12-18
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限责任公司 , 陶氏环球技术有限责任公司
IPC: H01L21/027
CPC classification number: C09D153/00 , G03F7/0002 , C08L25/04 , H01L21/0273
Abstract: 本文中公开一种包括将包括嵌段共聚物的组合物安置于衬底上的方法；其中所述嵌段共聚物包括第一聚合物和第二聚合物；其中所述嵌段共聚物的所述第一聚合物和所述第二聚合物彼此不同，并且所述嵌段共聚物形成相分离结构；和添加剂聚合物；其中所述添加剂聚合物包括可有效与其上安置所述添加剂聚合物的衬底反应的反应性部分；并且其中所述添加剂聚合物包括化学上和结构上与所述嵌段共聚物中的一种聚合物相同的均聚物，或其中所述添加剂聚合物包括与所述嵌段共聚物的一个嵌段具有优先相互作用的无规共聚物；和溶剂；和使所述组合物退火。
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公开(公告)号：CN105733161A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201510958811.7
申请日：2015-12-18
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限责任公司 , 陶氏环球技术有限责任公司
CPC classification number: C08L53/00 , B81C2201/0149 , C08L33/12 , C08L25/06
Abstract: 本文中公开一种组合物，其包括嵌段共聚物；其中所述嵌段共聚物包括第一聚合物和第二聚合物；其中所述嵌段共聚物的所述第一聚合物和所述第二聚合物彼此不同，并且所述嵌段共聚物形成相分离结构；和添加剂聚合物；其中所述添加剂聚合物包括与其上安置所述添加剂聚合物的衬底反应的反应性部分；并且其中所述添加剂聚合物包括化学上和结构上与所述嵌段共聚物中的一种聚合物相同的均聚物，或其中所述添加剂聚合物包括与所述嵌段共聚物的一个嵌段具有优先相互作用的无规共聚物。
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