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公开(公告)号：CN104237329A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410267655.5
申请日：2014-06-16
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/22
CPC classification number: G01N27/223 , G01N27/048
Abstract: 本发明实现了一种微机械湿度传感器设备和一种相应的制造方法。所述微机械湿度传感器设备(FS；FS’；FS”；FS”’；FS””)包括：衬底(1)，所述衬底具有前侧(V)和背侧(R)；设置在所述衬底(1)的前侧(V)的上方和/或下方的叉指印制导线装置(L1，L2，L3；L1，L2，L3，L1a，L1b，L1c)；位于所述叉指印制导线装置(L1，L2，L3；L1，L2，L3，L1a，L1b，L1c)的间隙上方和所述间隙中的潮湿敏感的聚合物层(10)。所述潮湿敏感的聚合物层(10)在所述前侧(V)的下方延伸到所述衬底(1)中。
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公开(公告)号：CN116438136A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202180070565.5
申请日：2021-09-30
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明涉及一种用于传感器设备或者麦克风设备的微机械构件的制造方法，具有以下步骤：在衬底(12)的衬底表面(12a)上由第一牺牲材料形成支撑结构(10)，支撑结构具有第一牺牲材料层(14)、多个通过第一牺牲材料层(14)结构化的蚀刻孔(16)和多个伸入到衬底(12)中的支撑柱(18)，将由支撑结构(10)跨越的至少一个空腔(22)蚀刻到衬底表面(12a)中，由至少一个半导体材料在支撑结构(10)的第一牺牲材料层(14)上或上方形成膜片(30)，将层堆叠(34)沉积，层堆叠(34)包括至少一个牺牲层(36a，36b)和至少一个对电极(38)，通过至少部分地移除至少支撑结构(10)和至少一个牺牲层(36a，36b)，释放膜片(30)。
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公开(公告)号：CN111919127B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN201980019933.6
申请日：2019-01-15
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01R31/34
Abstract: 描述一种用于在旋转的机器(M)中测试输出级的电桥的方法，所述输出级包括微控制器(μC)、第一桥式电路(B10)和第二桥式电路(B4)，该方法包括以下方法步骤：通过微控制器(μC)来确定借助输出级的桥式电路运行的机器的转速，并且如果所确定的转速未超过预定义的阈值，则执行低速测试，或者如果所确定的转速相应于或超过预定义的阈值，则执行对为电桥设置的驱动器的观测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111919127A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201980019933.6
申请日：2019-01-15
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01R31/34
Abstract: 描述一种用于在旋转的机器(M)中测试输出级的电桥的方法，所述输出级包括微控制器(μC)、第一桥式电路(B10)和第二桥式电路(B4)，该方法包括以下方法步骤：通过微控制器(μC)来确定借助输出级的桥式电路运行的机器的转速，并且如果所确定的转速未超过预定义的阈值，则执行低速测试，或者如果所确定的转速相应于或超过预定义的阈值，则执行对为电桥设置的驱动器的观测。
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公开(公告)号：CN111033204A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880037627.0
申请日：2018-05-17
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械压力传感器组件(100)，具有：衬底(110)；与所述衬底(110)连接的压力传感器构件(120)；和基本上空心截锥形的套筒结构(130)，该套筒结构与所述衬底(110)连接，该套筒结构至少在横向上围绕所述压力传感器构件(120)，并且该套筒结构在所述套筒结构(130)的背离所述衬底(110)的一侧上具有开口(140)。
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公开(公告)号：CN104237329B
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：CN201410267655.5
申请日：2014-06-16
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/22
Abstract: 本发明实现了一种微机械湿度传感器设备和一种相应的制造方法。所述微机械湿度传感器设备(FS；FS’；FS”；FS”’；FS””)包括：衬底(1)，所述衬底具有前侧(V)和背侧(R)；设置在所述衬底(1)的前侧(V)的上方和/或下方的叉指印制导线装置(L1，L2，L3；L1，L2，L3，L1a，L1b，L1c)；位于所述叉指印制导线装置(L1，L2，L3；L1，L2，L3，L1a，L1b，L1c)的间隙上方和所述间隙中的潮湿敏感的聚合物层(10)。所述潮湿敏感的聚合物层(10)在所述前侧(V)的下方延伸到所述衬底(1)中。
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公开(公告)号：CN102313609B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201110186023.2
申请日：2011-06-30
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01K1/20
CPC classification number: G01K7/01 , G01K2219/00
Abstract: 本发明涉及一种具有二极管(20)和模/数转换器(22)的温度检测装置(200)。二极管(20)的输出电压信号可施加在模/数转换器(22)的输入端上。温度检测装置(200)被设计用于如此耦合模/数转换器(22)的参考电压与二极管(20)的二极管电流，使得参考电压或二极管电流的波动对模/数转换器(22)的数字输出信号(24)的影响被部分地或完全地抑制。此外本发明还涉及一种包括根据本发明的温度检测装置(200)的测量装置(100)、一种用于数字地求取温度的方法以及一种用于抑制温度对确定待测量的参量的影响的方法。
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公开(公告)号：CN102313609A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201110186023.2
申请日：2011-06-30
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01K1/20
CPC classification number: G01K7/01 , G01K2219/00
Abstract: 本发明涉及一种具有二极管(20)和模/数转换器(22)的温度检测装置(200)。二极管(20)的输出电压信号可施加在模/数转换器(22)的输入端上。温度检测装置(200)被设计用于如此耦合模/数转换器(22)的参考电压与二极管(20)的二极管电流，使得参考电压或二极管电流的波动对模/数转换器(22)的数字输出信号(24)的影响被部分地或完全地抑制。此外本发明还涉及一种包括根据本发明的温度检测装置(200)的测量装置(100)、一种用于数字地求取温度的方法以及一种用于抑制温度对确定待测量的参量的影响的方法。
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