公开(公告)号：CN111033204A

公开(公告)日：2020-04-17

申请号：CN201880037627.0

申请日：2018-05-17

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： M·克瑙斯 ,  R·屈尔斯 ,  U·席勒 ,  L·绍丹 ,  S·舒勒-瓦特金斯 ,  D·豪格

IPC: G01L19/06 ,  G01L19/14 ,  H01L23/00

Abstract: 本发明涉及一种微机械压力传感器组件(100)，具有：衬底(110)；与所述衬底(110)连接的压力传感器构件(120)；和基本上空心截锥形的套筒结构(130)，该套筒结构与所述衬底(110)连接，该套筒结构至少在横向上围绕所述压力传感器构件(120)，并且该套筒结构在所述套筒结构(130)的背离所述衬底(110)的一侧上具有开口(140)。

公开(公告)号：CN113447057B

公开(公告)日：2025-05-23

申请号：CN202110325000.9

申请日：2021-03-26

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R·屈尔斯 ,  F·施普林格 ,  M·基特尔

IPC: G01D18/00

Abstract: 本发明涉及一种用于探测微机电传感器元件的污物的方法，所述方法包括以下步骤：输出用于控制加热装置的加热控制信号，以便加热传感器元件；接收测量信号，所述测量信号代表借助被加热的传感器元件所测量的物理参量；基于所测量的物理参量来求取：传感器元件是具有污物还是无污物；输出结果信号，该结果信号代表结果，该结果表明传感器元件是具有污物还是无污物。本发明还涉及一种设备。

公开(公告)号：CN113447057A

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN202110325000.9

申请日：2021-03-26

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R·屈尔斯 ,  F·施普林格 ,  M·基特尔

IPC: G01D18/00

Abstract: 本发明涉及一种用于探测微机电传感器元件的污物的方法，所述方法包括以下步骤：输出用于控制加热装置的加热控制信号，以便加热传感器元件；接收测量信号，所述测量信号代表借助被加热的传感器元件所测量的物理参量；基于所测量的物理参量来求取：传感器元件是具有污物还是无污物；输出结果信号，该结果信号代表结果，该结果表明传感器元件是具有污物还是无污物。本发明还涉及一种设备。