干涉仪元件、光谱仪和用于运行干涉仪的方法

    公开(公告)号:CN112840186B

    公开(公告)日:2024-06-07

    申请号:CN201980069520.9

    申请日:2019-10-22

    Abstract: 本发明涉及一种用于在光谱仪(100)中使用的干涉仪元件(125),其中,所述干涉仪元件(125)具有微机械式法布里‑珀罗滤波元件(FPI1、FPI2),所述法布里‑珀罗滤波元件至少具有第一镜元件(135)、第二镜元件(140)和第三镜元件(145),所述第一镜元件、所述第二镜元件和所述第三镜元件串联地布置在所述干涉仪元件(125)的光路(120)中,并且其中,所述第一镜元件(135)与所述第二镜元件(140)之间的第一间距(160)和/或所述第二镜元件(140)与所述第三镜元件(145)之间的第二间距(165)能够被改变。

    干涉仪元件、光谱仪和用于运行干涉仪的方法

    公开(公告)号:CN112840186A

    公开(公告)日:2021-05-25

    申请号:CN201980069520.9

    申请日:2019-10-22

    Abstract: 本发明涉及一种用于在光谱仪(100)中使用的干涉仪元件(125),其中,所述干涉仪元件(125)具有微机械式法布里‑珀罗滤波元件(FPI1、FPI2),所述法布里‑珀罗滤波元件至少具有第一镜元件(135)、第二镜元件(140)和第三镜元件(145),所述第一镜元件、所述第二镜元件和所述第三镜元件串联地布置在所述干涉仪元件(125)的光路(120)中,并且其中,所述第一镜元件(135)与所述第二镜元件(140)之间的第一间距(160)和/或所述第二镜元件(140)与所述第三镜元件(145)之间的第二间距(165)能够被改变。

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