微电系统的调温装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118020241A

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN202280063568.0

    申请日:2022-09-19

    Abstract: 本发明涉及一种用于微电系统的调温装置(1)和具有这种调温装置(1)的微电系统。调温装置(1)包括封闭的通道系统(3)和磁流体动力泵(7),该通道系统包括用于引导导电和导热介质(5)的至少一个通道(4)并且与微电系统的至少一个待调温对象热耦联,该磁流体动力泵具有多个磁流体动力模块(10),这些磁流体动力模块分别具有带有两个电极的电极装置和产生磁场的磁装置,其中,至少两个磁流体动力模块(10)实施为泵模块(10A、10B)并且电串联连接,其中,在泵模块(10A、10B)中,电极装置的第一电极分别将具有预设的电流密度的电流在至少一个通道区段上导入导电和导热介质(5)中,并且电极装置的第二电极将电流在至少一个通道区段上从导电和导热介质(5)导出,从而使得在封闭的通道系统(3)中引导的导电和导热介质(5)与导入的电流和产生的磁场的相互作用产生洛伦兹力,该洛伦兹力针对性地加速至少一个通道区段中的导电和导热介质(5),并且由此产生的压力增大导致导电和导热介质(5)穿过封闭的通道系统(3)的至少一个通道(4)的期望的体积流量,其中,导电和导热介质(5)的体积流量导致对至少一个待调温对象的调温,其中,导电和导热介质(5)在加热过程期间将热量传递到至少一个待调温对象,或者在冷却过程期间从至少一个待调温对象(9)吸收热量。

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