公开(公告)号：CN1977307A

公开(公告)日：2007-06-06

申请号：CN200580022016.1

申请日：2005-05-03

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： M·卡尔布赫恩 ,  P·拉普斯 ,  O·哈蒂希

IPC: G10K9/122

CPC classification number: G10K9/122 ,  G10K9/20

Abstract: 本发明提出一种用于超声换能器的薄膜腔，其带有用于承载薄膜的空心区域的，并对其进行电镀，优选镀铬。

公开(公告)号：CN100587802C

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：CN200580022016.1

申请日：2005-05-03

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： M·卡尔布赫恩 ,  P·拉普斯 ,  O·哈蒂希

IPC: G10K9/122

CPC classification number: G10K9/122 ,  G10K9/20

Abstract: 本发明提出一种用于超声换能器的薄膜腔，其带有用于承载薄膜的空心区域的，并对其进行电镀，优选镀铬。