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公开(公告)号：CN102564680B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201110426180.6
申请日：2011-12-19
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种基于超声波的测量装置（1），所述测量具有：测量体（3）；至少一个超声波发射器（8），所述超声波发射器用于使超声波测量信号耦合到所述测量体（3）中；和至少一个超声波接收器（9），所述超声波接收器用于探测在所述测量体（3）的端面（10）上反射的超声波测量信号，根据本发明至少一个超声波发射器（8）不仅发射纵向的而且发射横向的测量信号（SL、ST）。借助在端面（10）上反射的纵向和横向的测量信号（SL′、ST′）的运行时间和运行时间差，当确定在端面（10）上存在的测量压力（p）和/或在端面（10）上存在的测量温度（T）时，可以考虑物理干扰量对由测量信号经过的测量路段的影响。
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公开(公告)号：CN105190265A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201480016877.8
申请日：2014-03-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: H01L37/02 , G01J5/0225 , G01J5/024 , G01J5/045 , G01J5/0853 , G01J5/34 , G01J2005/345 , H01L31/0224 , H01L31/09 , H01L31/18
Abstract: 本发明涉及一种微机械型的传感器装置以及一种相应的制造方法。所述微机械型的传感器装置包括具有正面（VS）和背面（RS）的基片（1），其中在所述基片（1）的正面（V）上形成有多个柱子（S1、S2）。在每个柱子上形成有相应的传感器元件（P1、P2），所述传感器元件具有比所属的柱子（S1、S2）更大的侧向的伸展度，其中在所述柱子（S1、S2）的侧面在所述传感器元件（P1、P2）的下方设置有空腔（H）。所述传感器元件（P1、P2）通过相应的分离槽（G1、G2）在侧向上彼此隔开并且通过相应的所属的柱子（S1、S2）在相应的所属的背面触头（V6、E1；V7、E1）处电接触。
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公开(公告)号：CN103288037A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310061342.X
申请日：2013-02-27
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81B7/02 , B81B2201/025
Abstract: 本发明提出了一种微机械传感器装置和一种相应的制造方法以及一种相应的应用。所述微机械传感器装置包括：衬底（S1；S1；S1’），其具有前侧（V；V1；V1’）和背侧（R；R1；R1’）；其中在前侧（V；V1；V1’）上集成第一微机械传感器装置（M1），而在背侧（R；R1；R1’）上集成第二微机械传感器装置（M2）。
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公开(公告)号：CN102564680A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110426180.6
申请日：2011-12-19
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种基于超声波的测量装置（1），所述测量具有：测量体（3）；至少一个超声波发射器（8），所述超声波发射器用于使超声波测量信号耦合到所述测量体（3）中；和至少一个超声波接收器（9），所述超声波接收器用于探测在所述测量体（3）的端面（10）上反射的超声波测量信号，根据本发明至少一个超声波发射器（8）不仅发射纵向的而且发射横向的测量信号（SL、ST）。借助在端面（10）上反射的纵向和横向的测量信号（SL′、ST′）的运行时间和运行时间差，当确定在端面（10）上存在的测量压力（p）和/或在端面（10）上存在的测量温度（T）时，可以考虑物理干扰量对由测量信号经过的测量路段的影响。
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