公开(公告)号：CN108139273A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680060924.8

申请日：2016-09-12

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： I.赫尔曼 ,  D.格罗斯 ,  F.尤特默伦

IPC: G01J5/20 ,  G01J5/08 ,  G01J1/42

CPC classification number: G01J5/20 ,  G01J1/429 ,  G01J5/0853 ,  G01J5/0896 ,  G01J2005/066 ,  G01J2005/206

Abstract: 本发明涉及一种辐射传感器装置（21），包括：辐射传感器（2），所述辐射传感器包括悬臂式的元件（5）和保持结构（4），所述悬臂式的元件包括光学吸收体（6）和电阻结构（3），所述保持结构将悬臂式的元件与衬底（1）间隔开地保持并且所述保持结构是悬臂式的元件（5）与所述衬底（1）之间的连接；以及分析单元，用于由所述电阻结构（3）的电阻的改变测定所吸收的辐射，其特征在于光学吸收体（6）的波长选择性设计。

公开(公告)号：CN108431555A

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201680075414.8

申请日：2016-11-22

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： D.格罗斯 ,  F.尤特默伦

IPC: G01F1/684 ,  G01F1/692

Abstract: 用于制造在薄膜基底上的流量传感器（1）的方法，所述流量传感器具有第一加热和温度测量元件（10）以及至少一个第二加热和温度测量元件（11），其中，所述加热和温度测量元件（10、11）在空间上彼此分离，并且其中，存在载体结构（21），构造所述载体结构以用于容纳所述加热和温度测量元件（10、11）。根据本发明，所述用于制造的方法至少具有以下步骤：提供衬底（100）；在所述衬底（100）上沉积第一光刻胶（12）；在所述第一光刻胶（12）上沉积第二光刻胶（13）；打开所述第一光刻胶（12）和所述第二光刻胶（13）以制造连接金属化；沉积金属（14）以形成所述加热和温度测量元件（10、11）；结构化所沉积的金属（14）；沉积第三光刻胶（15），以及，通过至少一个牺牲性涂层蚀刻来移除所述第一光刻胶（12）。此外，本发明涉及一种流量传感器（1），所述流量传感器利用所述方法来制造。