通过锂化和脱锂的可调谐铌酸锂谐振器和滤波器

    公开(公告)号:CN109643981B

    公开(公告)日:2023-10-31

    申请号:CN201780054784.8

    申请日:2017-09-06

    Inventor: A.萨马劳

    Abstract: 一种表面声波(SAW)装置(100)包括:硅衬底(108);由铌酸锂形成的压电衬底(102);插置在所述硅衬底与所述压电衬底之间的氧化铝层(110);所述压电衬底上的至少一个电极(104、106)。被构造成改变所述压电衬底的充电中心的调谐电路(120)可以包括可调谐电阻器(124)和/或电压源(122)。

    柔性微流体运动传感器
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109906355A

    公开(公告)日:2019-06-18

    申请号:CN201780066312.4

    申请日:2017-08-28

    Inventor: A.萨马劳 S.Y.余

    Abstract: 一种柔性电子装置包括柔性电子电路和同质集成到柔性电路中的柔性微流体传感器。柔性传感器包括柔性微流体结构、材料流体、第二材料和电极布置。第一和第二材料中的至少一个是流体。该结构限定至少一个微流体腔室。第一和第二流体设置在腔室中。第二流体具有不同于第一流体的物理性质和电气性质。电极布置包括彼此间隔开的至少一对电极,其中所述至少一个腔室的至少一部分在功能上直接定位在其间,使得跨所述对测量的至少一个电子学性质是基于第二流体和所述对之间的关系。其间的关系是基于微流体结构的物理状态。

    具有悬浮结构的半导体传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN105940295B

    公开(公告)日:2020-06-23

    申请号:CN201480075003.X

    申请日:2014-12-02

    Abstract: 一种半导体气体传感器器件包括衬底、由所述衬底支撑的导电层、非适合种晶层、以及多孔气体感测层部分。所述非适合种晶层由第一材料形成,并包括由所述导电层支撑的第一支撑部分、由所述导电层支撑的第二支撑部分、以及从所述第一支撑部分延伸到所述第二支撑部分且悬浮在所述导电层之上的悬浮种晶部分。所述多孔气体感测层部分由第二材料形成,并直接由所述非适合种晶层与所述导电层电连通地支撑。所述第一材料和所述第二材料形成非适合的材料对。

    柔性微流体运动传感器
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109906355B

    公开(公告)日:2021-10-08

    申请号:CN201780066312.4

    申请日:2017-08-28

    Inventor: A.萨马劳 S.Y.余

    Abstract: 一种柔性电子装置包括柔性电子电路和同质集成到柔性电路中的柔性微流体传感器。柔性传感器包括柔性微流体结构、材料流体、第二材料和电极布置。第一和第二材料中的至少一个是流体。该结构限定至少一个微流体腔室。第一和第二流体设置在腔室中。第二流体具有不同于第一流体的物理性质和电气性质。电极布置包括彼此间隔开的至少一对电极,其中所述至少一个腔室的至少一部分在功能上直接定位在其间,使得跨所述对测量的至少一个电子学性质是基于第二流体和所述对之间的关系。其间的关系是基于微流体结构的物理状态。

    通过锂化和脱锂的可调谐铌酸锂谐振器和滤波器

    公开(公告)号:CN109643981A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201780054784.8

    申请日:2017-09-06

    Inventor: A.萨马劳

    Abstract: 一种表面声波(SAW)装置(100)包括:硅衬底(108);由铌酸锂形成的压电衬底(102);插置在所述硅衬底与所述压电衬底之间的氧化铝层(110);所述压电衬底上的至少一个电极(104、106)。被构造成改变所述压电衬底的充电中心的调谐电路(120)可以包括可调谐电阻器(124)和/或电压源(122)。

    具有悬浮结构的半导体传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN105940295A

    公开(公告)日:2016-09-14

    申请号:CN201480075003.X

    申请日:2014-12-02

    Abstract: 一种半导体气体传感器器件包括衬底、由所述衬底支撑的导电层、非适合种晶层、以及多孔气体感测层部分。所述非适合种晶层由第一材料形成,并包括由所述导电层支撑的第一支撑部分、由所述导电层支撑的第二支撑部分、以及从所述第一支撑部分延伸到所述第二支撑部分且悬浮在所述导电层之上的悬浮种晶部分。所述多孔气体感测层部分由第二材料形成,并直接由所述非适合种晶层与所述导电层电连通地支撑。所述第一材料和所述第二材料形成非适合的材料对。

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