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公开(公告)号：CN103130176A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201210470864.0
申请日：2012-11-20
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: H01L29/84 , B81B7/0061 , B81B2201/0257 , H01L29/66007 , H01L2224/16225 , H01L2224/48227 , H01L2224/73265 , H01L2924/15311 , H04R1/023 , H04R1/06 , H04R19/005 , H04R19/02 , H04R31/006 , H04R2201/003
Abstract: 本发明提供了一种微机械功能装置、尤其扬声器装置和一种相应的制造方法。该功能装置、尤其扬声器装置包含有一个具有上侧（O）和下侧（U）的衬底（5；5`）、至少一个安置在该第一孔穴（K`）中底侧（U）上的电路芯片（30）、安置在第二孔穴（K）中在上侧（O）上的具有多个微机械扬声器（9a,9b,9c）的微机械功能结构、尤其扬声器结构（10）、以及设置在该微机械功能结构、尤其扬声器结构（10）上侧（O）的覆盖装置（20）。
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公开(公告)号：CN103052011A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210385741.7
申请日：2012-10-12
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81C1/0023 , B81B2201/0257 , H01L2224/48091 , H04R19/005 , H04R31/006 , Y10T29/4913 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明提供了微机械功能装置、尤其扬声器装置和相应的制造方法。该功能装置、尤其扬声器装置包含有衬底（5）、至少一个安置在该衬底（1）上的电路芯片（30，31）、其中封装有所述电路芯片（30，31）的包覆封装（15）、微机械功能结构、尤其设置在该包覆封装（15）上具有多个微机械扬声器（9a,9b,9c）的扬声器结构（19）、以及与封装（15）相对地安置在该功能结构、尤其微机械扬声器结构（10）之上的覆盖装置（20）。
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公开(公告)号：CN103052011B
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201210385741.7
申请日：2012-10-12
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81C1/0023 , B81B2201/0257 , H01L2224/48091 , H04R19/005 , H04R31/006 , Y10T29/4913 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明提供了微机械功能装置、尤其扬声器装置和相应的制造方法。该功能装置、尤其扬声器装置包含有衬底（5）、至少一个安置在该衬底（1）上的电路芯片（30，31）、其中封装有所述电路芯片（30，31）的包覆封装（15）、微机械功能结构、尤其设置在该包覆封装（15）上具有多个微机械扬声器（9a,9b,9c）的扬声器结构（19）、以及与封装（15）相对地安置在该功能结构、尤其微机械扬声器结构（10）之上的覆盖装置（20）。
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