公开(公告)号：CN111108758A8

公开(公告)日：2020-10-23

申请号：CN201880061229.2

申请日：2018-06-28

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： C·赫尔姆 ,  B·格尔 ,  A·赫希斯特 ,  D·迈泽尔 ,  A·多勒 ,  张宇杰 ,  G·哈蒂波卢

IPC: H04R19/00 ,  H04R19/04 ,  H04R31/00

Abstract: 一种MEMS麦克风包括：基体；下部膜，其支撑在基体上；上部膜，其悬在下部膜上方；第一电极，其支撑在下部膜上；以及第二电极，其支撑在上部膜上。下部膜和上部膜围成腔，第一电极和第二电极位于腔中。下部膜和上部膜均由碳氮化硅(SiCN)形成。第一电极和第二电极均由多晶硅形成。

公开(公告)号：CN111108758B

公开(公告)日：2022-01-18

申请号：CN201880061229.2

申请日：2018-06-28

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： C·赫尔姆 ,  B·格尔 ,  A·赫希斯特 ,  D·迈泽尔 ,  A·多勒 ,  张宇杰 ,  G·哈蒂波卢

IPC: H04R19/00 ,  H04R19/04 ,  H04R31/00

Abstract: 一种MEMS麦克风包括：基体；下部膜，其支撑在基体上；上部膜，其悬在下部膜上方；第一电极，其支撑在下部膜上；以及第二电极，其支撑在上部膜上。下部膜和上部膜围成腔，第一电极和第二电极位于腔中。下部膜和上部膜均由碳氮化硅(SiCN)形成。第一电极和第二电极均由多晶硅形成。

公开(公告)号：CN111108758A

公开(公告)日：2020-05-05

申请号：CN201880061229.2

申请日：2018-06-28

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： C·赫尔姆 ,  B·格尔 ,  A·赫希斯特 ,  D·迈泽尔 ,  A·多勒 ,  Y·张 ,  G·哈蒂波卢

IPC: H04R19/00 ,  H04R19/04 ,  H04R31/00

Abstract: 一种MEMS麦克风包括：基体；下部膜，其支撑在基体上；上部膜，其悬在下部膜上方；第一电极，其支撑在下部膜上；以及第二电极，其支撑在上部膜上。下部膜和上部膜围成腔，第一电极和第二电极位于腔中。下部膜和上部膜均由碳氮化硅(SiCN)形成。第一电极和第二电极均由多晶硅形成。