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公开(公告)号：CN116067511A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202211718817.3
申请日：2022-12-29
Applicant: 网络通信与安全紫金山实验室
IPC: G01J11/00
Abstract: 本发明公开了一种微波单光子探测器和方法。其中，该探测器包括：金属腔腔体，包括第一谐振腔和第二谐振腔，第一谐振腔的一侧装配第一探针，第二谐振腔的一侧装配第二探针和第三探针，第二探针连接微波单光子探测器的控制读取信号输入端口，第三探针连接微波单光子探测器的控制读取信号输出端口；多端口器件，多端口器件的第一端口连接微波单光子探测器的微波单光子输入端口，多端口器件的第二端口连接第一探针，多端口器件的第三端口连接第一探针连接微波单光子探测器的微波单光子输出端口；超导量子比特，横贯第一谐振腔和第二谐振腔。本发明解决了相关技术中对微波单光子探测的探测效果差的技术问题。
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公开(公告)号：CN117040460A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202311057881.6
申请日：2023-08-21
Applicant: 网络通信与安全紫金山实验室
Abstract: 本发明公开了一种约瑟夫森参量放大器及其制备方法，适用于放大器设计制备领域。通过解理技术从单晶中获得高质量二维介质材料片，并使其与平板电容下极板和接地平面紧密贴合，再通过制备平板电容上级板和超导量子干涉仪即可实现高性能约瑟夫森参量放大器的制备，本发明可有效避免生长介质层的缺陷问题，可以提高约瑟夫森参量放大器的性能，同时也降低了工艺复杂度和对制备设备的要求，提高了制备效率、极大地降低制备成本。
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公开(公告)号：CN114038989A
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202111196182.0
申请日：2021-10-14
Applicant: 网络通信与安全紫金山实验室
Abstract: 本申请提供一种用于超导量子电路的约瑟夫森结的制备方法。在衬底表面形成铝金属薄膜层。通过第一掩膜对所述铝金属薄膜层进行图案化处理形成铝金属电路层。在所述铝金属电路层远离所述衬底的表面形成氧化铝薄膜层。在所述衬底的表面制备超导材料薄膜层，所述超导材料薄膜层覆盖所述氧化铝薄膜层以及所述衬底的表面。形成第二掩膜层，通过所述第二掩膜层对所述超导材料薄膜层进行图案化处理以获得图案化的超导材料电路层，所述超导材料电路层与所述铝金属电路层在所述衬底的投影部分重叠。清洗去除所述第二掩膜层，获得所述约瑟夫森结。上述制备方法，可以制备大面积的约瑟夫森结。
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公开(公告)号：CN114038989B
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202111196182.0
申请日：2021-10-14
Applicant: 网络通信与安全紫金山实验室
Abstract: 本申请提供一种用于超导量子电路的约瑟夫森结的制备方法。在衬底表面形成铝金属薄膜层。通过第一掩膜对所述铝金属薄膜层进行图案化处理形成铝金属电路层。在所述铝金属电路层远离所述衬底的表面形成氧化铝薄膜层。在所述衬底的表面制备超导材料薄膜层，所述超导材料薄膜层覆盖所述氧化铝薄膜层以及所述衬底的表面。形成第二掩膜层，通过所述第二掩膜层对所述超导材料薄膜层进行图案化处理以获得图案化的超导材料电路层，所述超导材料电路层与所述铝金属电路层在所述衬底的投影部分重叠。清洗去除所述第二掩膜层，获得所述约瑟夫森结。上述制备方法，可以制备大面积的约瑟夫森结。
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