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公开(公告)号:CN106457659A
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201580030973.2
申请日:2015-06-08
Applicant: 综研化学株式会社
Inventor: 水上裕
CPC classification number: B29C59/04 , B29C33/38 , B29C59/002 , B29C2059/023 , B29L2007/008 , B32B37/0053 , B32B38/06
Abstract: 本发明通过简便的方法将树脂制模板固定至用于辊转印方式的压印装置中的辊体上的正确位置处,且使得树脂制模板与被转印体树脂之间的位置关系易于调节。本发明的压印用转印辊体是将贴附有表面形成有细微凹凸图案的树脂制模板的树脂膜基材卷绕在辊体本体周面上的压印用转印辊体,其特征在于,通过将所述辊体本体一分为二,使所述辊体本体由一方的分割体和另一方的分割体构成,且将所述树脂膜基材的一侧末端夹持在第1分割体和第2分割体接合的两个分割面之间,在使所述第1分割体与所述第2分割体一体化之后,使所述树脂膜基材沿所述辊体本体的周向卷绕。
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公开(公告)号:CN107405824A
公开(公告)日:2017-11-28
申请号:CN201680014423.6
申请日:2016-03-15
Applicant: 综研化学株式会社
Inventor: 水上裕
IPC: B29C59/02 , H01L21/027
CPC classification number: B29C59/02 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种模具对辊容易装卸、从辊上剥离的模具可再利用、且无需同时进行转印操作和固化操作的凹凸图案形成体的制造方法等。本发明的凹凸图案形成体的制造方法包括:工序(1),将表面具有凹凸图案的膜模具以可装卸的方式卷绕保持于辊上;工序(2),将包含被转印体树脂层的被转印体载置于基板载置部上;工序(3),一边使膜模具抵接在被转印体树脂层的表面上,一边使辊转动,使膜模具从辊上剥离而卷出至被转印体树脂层上,并且将膜模具表面的凹凸图案转印至被转印体树脂层上;工序(4),使被转印体树脂层固化;工序(5),一边使辊抵接在层叠于固化了的被转印体树脂层上的膜模具上,一边使其转动,使膜模具从固化了的被转印体树脂层上剥离并卷取至辊上。
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公开(公告)号:CN104853897A
公开(公告)日:2015-08-19
申请号:CN201380060874.X
申请日:2013-11-18
Applicant: 综研化学株式会社
Inventor: 水上裕
IPC: B29C59/04 , B29C33/38 , H01L21/027
CPC classification number: B29C53/08 , B29C37/0053 , B29C37/0067 , B29C53/56 , B29C53/562 , B29C59/04 , B29C2035/0827 , B29C2059/023 , B29L2031/757
Abstract: 本发明提供一种可以防止转印树脂向转印辊上的堆积的压印用模具的制造方法。根据本发明,可以提供一种压印用模具的制造方法,其具备:树脂涂布工序,向具有微细的凹凸图案的图案转移用模具上涂布光或热固化性的树脂组合物;转移工序,通过将所述树脂组合物遍及圆柱状的转印辊的全周地转移并且使所述树脂组合物固化,而遍及所述转印辊的全周地形成所述凹凸图案的反转图案。
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公开(公告)号:CN104853897B
公开(公告)日:2017-05-03
申请号:CN201380060874.X
申请日:2013-11-18
Applicant: 综研化学株式会社
Inventor: 水上裕
IPC: B29C59/04 , B29C33/38 , H01L21/027
CPC classification number: B29C53/08 , B29C37/0053 , B29C37/0067 , B29C53/56 , B29C53/562 , B29C59/04 , B29C2035/0827 , B29C2059/023 , B29L2031/757
Abstract: 本发明提供一种可以防止转印树脂向转印辊上的堆积的压印用模具的制造方法。根据本发明,可以提供一种压印用模具的制造方法,其具备:树脂涂布工序,向具有微细的凹凸图案的图案转移用模具上涂布光或热固化性的树脂组合物;转移工序,通过将所述树脂组合物遍及圆柱状的转印辊的全周地转移并且使所述树脂组合物固化,而遍及所述转印辊的全周地形成所述凹凸图案的反转图案。
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公开(公告)号:CN106457659B
公开(公告)日:2018-06-26
申请号:CN201580030973.2
申请日:2015-06-08
Applicant: 综研化学株式会社
Inventor: 水上裕
CPC classification number: B29C59/04 , B29C33/38 , B29C59/002 , B29C2059/023 , B29L2007/008 , B32B37/0053 , B32B38/06
Abstract: 本发明通过简便的方法将树脂制模板固定至用于辊转印方式的压印装置中的辊体上的正确位置处,且使得树脂制模板与被转印体树脂之间的位置关系易于调节。本发明的压印用转印辊体是将贴附有表面形成有细微凹凸图案的树脂制模板的树脂膜基材卷绕在辊体本体周面上的压印用转印辊体,其特征在于,通过将所述辊体本体一分为二,使所述辊体本体由一方的分割体和另一方的分割体构成,且将所述树脂膜基材的一侧末端夹持在第1分割体和第2分割体接合的两个分割面之间,在使所述第1分割体与所述第2分割体一体化之后,使所述树脂膜基材沿所述辊体本体的周向卷绕。
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