公开(公告)号：CN102810500A

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：CN201210179529.5

申请日：2012-05-31

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 崔基熏 ,  姜秉万 ,  姜丙喆 ,  张东赫

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67769 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67178

Abstract: 本发明提供了一种缓冲单元，所述缓冲单元包括：框架，所述框架包括底板、第一垂直板和第二垂直板，其中所述第一垂直板和所述第二垂直板在所述底板上相互隔离；第一缓冲器，在所述第一缓冲器上放置基板，所述第一缓冲器被允许在所述第一垂直板和所述第二垂直板之间翻转；及多个驱动部，所述多个驱动部设置在所述第一垂直板和所述第二垂直板外侧，并驱动所述第一缓冲器夹持和翻转放置在所述第一缓冲器上的基板。

公开(公告)号：CN102810500B

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201210179529.5

申请日：2012-05-31

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 崔基熏 ,  姜秉万 ,  姜丙喆 ,  张东赫

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67769 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67178

Abstract: 本发明提供了一种缓冲单元，所述缓冲单元包括：框架，所述框架包括底板、第一垂直板和第二垂直板，其中所述第一垂直板和所述第二垂直板在所述底板上相互隔离；第一缓冲器，在所述第一缓冲器上放置基板，所述第一缓冲器被允许在所述第一垂直板和所述第二垂直板之间翻转；及多个驱动部，所述多个驱动部设置在所述第一垂直板和所述第二垂直板外侧，并驱动所述第一缓冲器夹持和翻转放置在所述第一缓冲器上的基板。

公开(公告)号：CN102810461B

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201210177767.2

申请日：2012-05-31

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 姜丙喆 ,  姜秉万 ,  张东赫 ,  金性洙

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67109 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67769

Abstract: 提供一种基板处理设备。所述基板处理设备包括：索引部，所述索引部包括端口和索引机械手，在所述端口上放置有容纳基板的容器；用于处理所述基板的处理部；和缓冲单元，所述缓冲单元设置于所述处理部和所述索引部之间以允许在所述处理部和所述索引部之间传送的基板在所述缓冲单元中临时停留。所述处理部包括胶移除处理模块、基板冷却处理模块、热处理模块和功能水处理模块，它们沿用于传送基板的传送通道设置。

公开(公告)号：CN102810461A

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：CN201210177767.2

申请日：2012-05-31

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 姜丙喆 ,  姜秉万 ,  张东赫 ,  金性洙

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67109 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67769

Abstract: 提供一种基板处理设备。所述基板处理设备包括：索引部，所述索引部包括端口和索引机械手，在所述端口上放置有容纳基板的容器；用于处理所述基板的处理部；和缓冲单元，所述缓冲单元设置于所述处理部和所述索引部之间以允许在所述处理部和所述索引部之间传送的基板在所述缓冲单元中临时停留。所述处理部包括胶移除处理模块、基板冷却处理模块、热处理模块和功能水处理模块，它们沿用于传送基板的传送通道设置。