公开(公告)号：CN112439573B

公开(公告)日：2022-12-13

申请号：CN202010909543.0

申请日：2020-09-02

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 金善美 ,  权五镇 ,  崔世亨

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02 ,  B05B7/00

Abstract: 本发明构思提供了一种用于分配其中产生了等离子体的处理液的喷嘴。该喷嘴包括：主体，其具有内部空间；液体供应单元，其将处理液供应到内部空间中；和电极，其在内部空间中产生等离子体。所述液体供应单元将处于起泡状态的处理液供应到内部空间中，或者使处理液在内部空间中起泡。

公开(公告)号：CN112439573A

公开(公告)日：2021-03-05

申请号：CN202010909543.0

申请日：2020-09-02

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 金善美 ,  权五镇 ,  崔世亨

IPC: B05B7/00 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明构思提供了一种用于分配其中产生了等离子体的处理液的喷嘴。该喷嘴包括：主体，其具有内部空间；液体供应单元，其将处理液供应到内部空间中；和电极，其在内部空间中产生等离子体。所述液体供应单元将处于起泡状态的处理液供应到内部空间中，或者使处理液在内部空间中起泡。

公开(公告)号：CN118280875A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202310960818.7

申请日：2023-08-01

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 崔世亨

IPC: H01L21/67

Abstract: 一种用于处理衬底的碗状装置，所述碗状装置包括开口、杯形件和边缘加热部分，所述开口被设置在上部部分中并允许衬底通过所述开口排出和输入，所述杯形件被配置成形成用于处理所述衬底的处理空间，所述边缘加热部分被设置在所述杯形件中并被配置成加热所述衬底的边缘。