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公开(公告)号：CN119673733A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202410925418.7
申请日：2024-07-11
Applicant: 细美事有限公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/32 , H01L21/67 , G01R31/12 , G01R31/16
Abstract: 本申请涉及用于衬底处理装置的环组件测试装置，包括：电极本体，包括设置在包括环组件的测试对象下方的底部电极和设置在所述测试对象上方的顶部电极；以及功率应用模块，用于向所述电极本体施加功率，其中，向所述电极本体施加功率，以在处理衬底的所述衬底处理装置外部，测试所述环组件的电弧的发生。
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