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公开(公告)号：CN1330797C
公开(公告)日：2007-08-08
申请号：CN02816797.X
申请日：2002-08-27
Applicant: 纽约市哥伦比亚大学托管会
Abstract: 制作一种有均匀微结构的多晶硅薄膜晶体管的方法。一种示例的方法要求接纳一个有晶粒结构的多晶硅薄膜，该结构至少在一个第一方向上是周期性的，并且在接纳的薄膜上放置一个或多个薄膜晶体管的至少一些部分(410，420)，因此它们相对于该薄膜的周期性结构倾斜。
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公开(公告)号：CN1547626A
公开(公告)日：2004-11-17
申请号：CN02816797.X
申请日：2002-08-27
Applicant: 纽约市哥伦比亚大学托管会
IPC: C30B13/00
Abstract: 制作一种有均匀微结构的多晶硅薄膜晶体管的方法。一种示例的方法要求接纳一个有晶粒结构的多晶硅薄膜，该结构至少在一个第一方向上是周期性的，并且在接纳的薄膜上放置一个或多个薄膜晶体管的至少一些部分(410，420)，因此它们相对于该薄膜的周期性结构倾斜。
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