公开(公告)号：CN101314159A

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：CN200810100542.0

申请日：2008-05-20

Applicant: 索尼株式会社 ,  大日本网目版制造株式会社

Inventor： 岩元勇人 ,  足立训章

IPC: B08B3/08 ,  G03F7/42

CPC classification number: H01L21/67057 ,  C11D7/06 ,  C11D7/08 ,  C11D11/0047 ,  C11D11/0064 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/67253 ,  H01L22/14 ,  Y10S134/902

Abstract: 本发明提供一种技术，其在单槽式基板清洗装置中，使用对应药液种类的最合适的阈值进行电阻率的检查，从而能够更加恰当地使冲洗处理结束工作。在本发明的基板清洗装置中，在条件设定画面(42a)上，能够对各个工序单个地设定用于冲洗处理时进行的电阻率检查的阈值。因此，若对应紧接着冲洗处理之前使用的药液的种类来设定各个阈值，则能够在各个工序的冲洗处理中使用最合适的阈值检查电阻率。而且，由此能够恰当结束各个工序的冲洗处理。