公开(公告)号：CN101726951A

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200910204215.4

申请日：2009-10-14

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 筒井亚希子

IPC: G02F1/1362 ,  B23K26/00

CPC classification number: H01J9/50 ,  G01N21/95684 ,  H05K3/225 ,  Y02W30/828

Abstract: 本发明涉及缺陷修复装置和缺陷修复方法。该缺陷修复装置包括缺陷检测单元、数据库、缺陷修复单元和控制单元。缺陷检测单元检查其上形成有重复图案的多层基板，并且提取关于重复图案中的缺陷的位置信息和关于缺陷的特征信息。多个缺陷修复技术被登记在数据库中。缺陷修复单元利用指定的缺陷修复技术来修复多层基板的缺陷。控制单元读取针对缺陷检测单元检测出的缺陷的缺陷修复技术，并且利用该缺陷修复技术来控制修复缺陷的缺陷修复单元。

公开(公告)号：CN101726951B

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：CN200910204215.4

申请日：2009-10-14

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 筒井亚希子

IPC: G02F1/1362 ,  B23K26/00

CPC classification number: H01J9/50 ,  G01N21/95684 ,  H05K3/225 ,  Y02W30/828

Abstract: 本发明涉及缺陷修复装置和缺陷修复方法。该缺陷修复装置包括缺陷检测单元、数据库、缺陷修复单元和控制单元。缺陷检测单元检查其上形成有重复图案的多层基板，并且提取关于重复图案中的缺陷的位置信息和关于缺陷的特征信息。多个缺陷修复技术被登记在数据库中。缺陷修复单元利用指定的缺陷修复技术来修复多层基板的缺陷。控制单元读取针对缺陷检测单元检测出的缺陷的缺陷修复技术，并且利用该缺陷修复技术来控制修复缺陷的缺陷修复单元。

公开(公告)号：CN101286468B

公开(公告)日：2010-11-17

申请号：CN200810089668.2

申请日：2008-04-11

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 舆石亮 ,  川部英雄 ,  向井畅彦 ,  筒井亚希子

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/84 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1362

CPC classification number: H01L27/3276 ,  G02F2001/136263 ,  H01L2251/568

Abstract: 本发明公开了由多个配线图案在基体上形成的基板的制造方法、基板制造系统以及显示器的制造方法，其中，该基板制造方法包括：第一检查步骤，通过分别对于多个配线图案执行电气检查来识别具有电气短路或断路的不良配线图案；第二检查步骤，通过光学检查检验基体上的缺陷的相对位置和缺陷的类型和尺寸中的至少一个；匹配部，将第一检查步骤的结果与第二检查步骤的结果进行匹配，并识别具有电气短路或断路的致命缺陷；以及第三检查步骤，通过光学检查检验致命缺陷在像素中的相对位置和有效范围。通过本发明，可以显著提高配线图案的致命缺陷的位置识别的成功率，以及可以减少配线图案的缺陷修复的生产时间。

公开(公告)号：CN101286468A

公开(公告)日：2008-10-15

申请号：CN200810089668.2

申请日：2008-04-11

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 舆石亮 ,  川部英雄 ,  向井畅彦 ,  筒井亚希子

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/84 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1362

CPC classification number: H01L27/3276 ,  G02F2001/136263 ,  H01L2251/568

Abstract: 本发明公开了由多个配线图案在基体上形成的基板的制造方法、基板制造系统以及显示的制造方法，其中，该基板制造方法包括：第一检查步骤，通过分别对于多个配线图案执行电气检查来识别具有电气短路或断路的不良配线图案；第二检查步骤，通过光学检查检验基体上的缺陷的相对位置和缺陷的类型和尺寸中的至少一个；匹配部，将第一检查步骤的结果与第二检查步骤的结果进行匹配，并识别具有电气短路或断路的致命缺陷；以及第三检查步骤，通过光学检查检验致命缺陷在像素中的相对位置和有效范围。通过本发明，可以显著提高配线图案的致命缺陷的位置识别的成功率，以及可以减少配线图案的缺陷修复的生产时间。