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公开(公告)号:CN101542698B
公开(公告)日:2011-06-08
申请号:CN200780043517.7
申请日:2007-11-21
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L21/336 , H01L21/28 , H01L29/417 , H01L29/786 , H01L51/05
CPC classification number: H01L51/0095 , H01L51/0035 , H01L51/0083 , H01L51/0541 , H01L51/0545 , H01L51/105 , Y10T428/31533 , Y10T428/31681 , Y10T428/31692
Abstract: 本发明提供了一种电极覆盖材料、一种电极结构和一种半导体装置,该半导体装置由场效应晶体管构成,该场效应晶体管具有栅极(13)、栅绝缘层(14)、由有机半导体材料层构成的通道形成区域(16)、和由金属制成的源极/漏极(15)。该源极/漏极(15)在其与构成所述通道形成区域(16)的有机半导体材料层所接触的部分用电极覆盖材料(21)所覆盖。由于该电极覆盖材料(21)由具有可结合至金属离子的官能团和结合至由金属制成的源极/漏极(15)的官能团的有机分子构成,所以获得了低接触电阻和高迁移率。
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公开(公告)号:CN101542698A
公开(公告)日:2009-09-23
申请号:CN200780043517.7
申请日:2007-11-21
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L21/336 , H01L21/28 , H01L29/417 , H01L29/786 , H01L51/05
CPC classification number: H01L51/0095 , H01L51/0035 , H01L51/0083 , H01L51/0541 , H01L51/0545 , H01L51/105 , Y10T428/31533 , Y10T428/31681 , Y10T428/31692
Abstract: 本发明提供了一种电极覆盖材料、一种电极结构和一种半导体装置,该半导体装置由场效应晶体管构成,该场效应晶体管具有栅极(13)、栅绝缘层(14)、由有机半导体材料层构成的通道形成区域(16)、和由金属制成的源极/漏极(15)。该源极/漏极(15)在其与构成所述通道形成区域(16)的有机半导体材料层所接触的部分用电极覆盖材料(21)所覆盖。由于该电极覆盖材料(21)由具有可结合至金属离子的官能团和结合至由金属制成的源极/漏极(15)的官能团的有机分子构成,所以获得了低接触电阻和高迁移率。
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