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发明公开
缺陷检测方法与缺陷检测装置无效

公开(公告)号：CN1920539A

公开(公告)日：2007-02-28

申请号：CN200610121844.7

申请日：2006-08-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 小岛广一 , 金泽英祐

IPC: G01N21/88 , G01N21/956 , G01M11/00

CPC classification number: G06T7/0004 , G09G3/006 , G09G3/3611

Abstract: 缺陷检测方法，包括：拍摄具有同一重复图案的被检查物，取得图像的图像取得步骤；和对所取得的图像进行缺陷强调处理的缺陷强调处理步骤。缺陷强调处理步骤(ST3)具有：在摄像图像中依次选择检查对象点的检查对象点选择步骤(ST31)；和分别求得所选择的检查对象点的亮度值，与设置在其周围的多个比较对象点的亮度值之间的差值，选择各个亮度差数据中值最小者，作为上述检查对象点的缺陷强调值的缺陷强调值计算步骤(ST32)。

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