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公开(公告)号：CN1920539A
公开(公告)日：2007-02-28
申请号：CN200610121844.7
申请日：2006-08-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01N21/88 , G01N21/956 , G01M11/00
CPC classification number: G06T7/0004 , G09G3/006 , G09G3/3611
Abstract: 缺陷检测方法，包括：拍摄具有同一重复图案的被检查物，取得图像的图像取得步骤；和对所取得的图像进行缺陷强调处理的缺陷强调处理步骤。缺陷强调处理步骤(ST3)具有：在摄像图像中依次选择检查对象点的检查对象点选择步骤(ST31)；和分别求得所选择的检查对象点的亮度值，与设置在其周围的多个比较对象点的亮度值之间的差值，选择各个亮度差数据中值最小者，作为上述检查对象点的缺陷强调值的缺陷强调值计算步骤(ST32)。
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公开(公告)号：CN1311274C
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN02800446.9
申请日：2002-02-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 如此构成位置调节装置的光束检测器(40)，即从交叉分光棱镜(150)射出的光束通过分光镜(451)被CCD摄影机(41)直接获取。因此，能够不使用传统的投影屏幕地进行调节并能够大幅度缩小位置调节装置。另外，设置位置调节装置所需的占地空间也减小，从而能够有效地利用工作区。
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公开(公告)号：CN1287309C
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN03120644.1
申请日：2003-03-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G06Q10/00
Abstract: 本发明具备具有一种检查数据收集装置的系统，在上述检查数据收集装置中，如果输入包含其形式根据检查的种类或检测器的不同而不同的测定数据的信号，则进行与该信号和数据的形式相一致的处理，作成某种形式的数据，此外，能与检测器能处理的形式相对应地发送对检测器供给指示的信号，将由制造制品的全部工序的检查得到的全部的数据作为检查数据来存储，在各工序间进行交换。
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公开(公告)号：CN1282941C
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN02152956.6
申请日：2002-11-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H04Q9/00
Abstract: 提供可以与计量内容及计量器的种类无关地将计量结果作为电子的数据进行处理、从而可以进行账票形式的印刷以及运算等的数据加工的计量数据收集装置。计量数据收集装置至少具有由使从计量器3输入的计量数据成为与计量内容对应的形式的数据的计量器接口部1D-2和使与计量内容对应的形式的数据成为某一形式的计量数据的计量器接口部1D-1构成的收集/分析处理部1D。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1247977C
公开(公告)日：2006-03-29
申请号：CN02130485.8
申请日：2002-08-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01M11/0264 , G01M11/0292
Abstract: 提供一种能简单且廉价地实施透镜分辨率评估的透镜检查装置及检查片。透镜检查装置配有形成有测试图TP的检查片450、保持检查片450的滑动保持部443、把光束导入被保持在滑动保持部443内的检查片450的测试图TP部分上的光源、用于保持滑动保持部443在平面内自由旋转的旋转保持部442、对通过检查片450及测定对象的投影透镜被投射到屏面上的图像进行摄像并实施图像处理的测定部。测试图TP具有为成为规定的空间频率其线状遮光部PTL配置成条状的测定区。通过使旋转保持部442旋转，可简单地评估外延方向各异的测试图TP的分辨率。
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公开(公告)号：CN1445704A
公开(公告)日：2003-10-01
申请号：CN02152956.6
申请日：2002-11-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H04Q9/00
Abstract: 提供可以与计量内容及计量器的种类无关地将计量结果作为电子的数据进行处理、从而可以进行账票形式的印刷以及运算等的数据加工的计量数据收集装置。计量数据收集装置至少具有由使从计量器3输入的计量数据成为与计量内容对应的形式的数据的计量器接口部1D－2和使与计量内容对应的形式的数据成为某一形式的计量数据的计量器接口部1D－1构成的收集/分析处理部1D。
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公开(公告)号：CN1445692A
公开(公告)日：2003-10-01
申请号：CN03120644.1
申请日：2003-03-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G06Q10/00
Abstract: 本发明具备具有一种检查数据收集装置的系统，在上述检查数据收集装置中，如果输入包含其形式根据检查的种类或检测器的不同而不同的测定数据的信号，则进行与该信号和数据的形式相一致的处理，作成某种形式的数据，此外，能与检测器能处理的形式相对应地发送对检测器供给指示的信号，将由制造制品的全部工序的检查得到的全部的数据作为检查数据来存储，在各工序间进行交换。
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公开(公告)号：CN1401982A
公开(公告)日：2003-03-12
申请号：CN02130485.8
申请日：2002-08-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/0264 , G01M11/0292
Abstract: 提供一种能简单且廉价地实施透镜分辨率评估的透镜检查装置及检查片。透镜检查装置配有形成有测试图TP的检查片450、保持检查片450的滑动保持部443、把光束导入被保持在滑动保持部443内的检查片450的测试图TP部分上的光源、用于保持滑动保持部443在平面内自由旋转的旋转保持部442、对通过检查片450及测定对象的投影透镜被投射到屏面上的图像进行摄像并实施图像处理的测定部。测试图TP具有为成为规定的空间频率其线状遮光部PTL置成条状的测定区。通过使旋转保持部442旋转，可简单地评估外延方向各异的测试图TP的分辨率。
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