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公开(公告)号：CN107024667A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201710010939.X
申请日：2017-01-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01R33/032 , G01R33/26
Abstract: 本发明提供一种能够抑制制造成品率的下降及制造工序数的增大，提高生产率的磁力测量装置及其制造方法、气室及其制造方法、以及气室的制造方法。测量磁场的磁力测量装置(100)的特征在于，包括：室部(12)，其具有主室(14)、与主室(14)连通且具有长度方向的贮存槽(16)、设置在贮存槽(16)的长度方向的与主室(14)相反的相反侧的开口部(18)；密封部(19)，其密封开口部(18)；碱金属气体(13)，其填充在主室(14)与贮存槽(16)中，在贮存槽(16)中，沿长度方向设置有保持部(17)。
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公开(公告)号：CN1397842A
公开(公告)日：2003-02-19
申请号：CN02126238.1
申请日：2002-07-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及提供减少CPU运算处理负担的图案描绘装置。在基板(32)上对按照同心圆状排列的多个轨道进行二维图案描绘的图案描绘装置，包括：在一个轨道上至少取两点，以此为每个轨道的基本象素(轨迹1、轨迹2)对轨道进行正向或反向的反复排列描绘，或者按照同样的方式在连续的多个轨道上反复进行描绘，从而构成所需的图案。
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公开(公告)号：CN106066459A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201610250842.1
申请日：2016-04-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01R33/032 , G01R33/00 , G01R33/26
CPC classification number: G01R33/26 , G01R33/0052 , G01R33/032
Abstract: 本发明涉及磁测量装置及其制造方法、气室以及气室的制造方法。本发明提供小型且使用寿命长的能够稳定地制造的气室以及具备气室的磁测量装置、气室以及磁测量装置的制造方法。磁测量装置(100)的特征在于，具备：壁(11)，其构成室部(12)；开口部(18)，其在壁(11)的一部分开口；封闭材料(30)，其封闭开口部(18)；涂层(32)，其在室部(12)的内侧覆盖封闭材料(30)；以及碱金属气体(13)，其被封入室部(12)。
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公开(公告)号：CN105310682A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510364560.X
申请日：2015-06-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01R33/26
Abstract: 本发明涉及盖、气室、气室的密封方法、盖的制造方法以及盖阵列基板。本发明为了减少密封气室的工序中的盖的位置偏移。气室的密封方法具备：在作为用于密封气室的盖的基板上接合突起部的接合工序；将与基板接合的突起部放入设置于气室主体的开口部中，进行基板相对于气室主体的定位的定位工序；在进行了定位的状态下利用密封材料将基板和气室主体接合，并对气室主体进行密封的密封工序。
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公开(公告)号：CN105607014A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201510765585.0
申请日：2015-11-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 藤井永一
IPC: G01R33/02
CPC classification number: G01R33/26 , F17C3/00 , G01R33/02 , G01R33/0052
Abstract: 本发明提供能够稳定且高精度地进行计量的磁计量装置及其制造方法以及气室及其制造方法。磁计量装置(100)包括气室(10)，该气室(10)具备：腔室部(12)，其具有主室(14)、贮存部(16)、连通主室和贮存部的连通孔(15)以及设于贮存部的开口部(18)；密封部(19)，其密封开口部；安瓿(20)，其配置于贮存部；以及碱金属气体(13)，其填充于主室和贮存部内，安瓿配置于贮存部(16)中的规定的位置，开口部设于离开规定的位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105487022A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201510641865.0
申请日：2015-09-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01R33/02
CPC classification number: G01R33/032 , G01R33/0052
Abstract: 提供能在不损坏池且不溶解安瓿的玻璃材料的情况下稳定加工安瓿的磁力测量装置、气体池以及它们的制造方法。测量从活体产生的磁场的磁力测量装置(100)的制造方法，包括以下步骤：在石英玻璃构成的池部(12)的空隙中配置硼硅酸玻璃构成的且在中空部填充有碱金属固体(24)的安瓿(20)，并密封池部(12)；使脉冲激光(40)通过池部12照射在安瓿(20)上，从而在安瓿(20)上形成贯通孔(21)，脉冲激光(40)的能量为20μJ/脉冲至200μJ/脉冲。石英玻璃对脉冲激光(40)的吸收系数比硼硅酸玻璃对脉冲激光(40)的吸收系数小。
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公开(公告)号：CN105312767B
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201510438315.9
申请日：2015-07-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L23/02
CPC classification number: G01R33/032 , B23K26/0648 , B23K26/0652 , B23K26/206 , B23K26/324 , B23K2103/54 , G01R33/0052
Abstract: 本发明提供气室的密封方法，不给予气室主体、气室内部的气体热负荷而提高气室的密封的精度。气室的密封方法具备接合工序，在该接合工序中，利用光学元件使从激光光源照射的激光会聚于设置有将具有开口部的气室主体与堵住开口部的盖体接合的密封材料的气室主体与盖体的接合部分，而对接合部分进行加热，边使激光会聚于接合部分，边朝盖体按压气室主体的方向加压，从而将盖体与气室主体接合。
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公开(公告)号：CN105527591A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201510683363.4
申请日：2015-10-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01R33/032
CPC classification number: G01R33/26 , G01R33/0052 , G01R33/032
Abstract: 本发明提供能进行稳定制造、可进行高精度计测的磁性计测装置、气室以及它们的制造方法。计测磁场的磁性计测装置(100)的特征在于，包括：气室(10)，其中，气室(10)具备主室(14)、储藏部(16)、以及连通主室(14)和储藏部(16)的连通孔(15)；在主室(14)和储藏部(16)中填充有碱金属气体(13)，在储藏部(16)中配置有碱金属固体(24)和碱金属液体(24a)中的至少一种。
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公开(公告)号：CN1251025C
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：CN02126238.1
申请日：2002-07-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及提供减少CPU运算处理负担的图案描绘方法。在基板(32)上对按照同心圆状排列的多个轨道进行二维图案描绘的图案描绘方法，包括：通过将作为每个轨道的基础的基本象素列(轨迹1、轨迹2)在一个轨道上至少的两点处进行正向或反向的反复排列，并按照同样的方式对连续的多个轨道反复进行排列，从而构成所需的图案。
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公开(公告)号：CN105312767A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510438315.9
申请日：2015-07-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B23K26/20
CPC classification number: G01R33/032 , B23K26/0648 , B23K26/0652 , B23K26/206 , B23K26/324 , B23K2103/54 , G01R33/0052
Abstract: 本发明提供气室的密封方法，不给予气室主体、气室内部的气体热负荷而提高气室的密封的精度。气室的密封方法具备接合工序，在该接合工序中，利用光学元件使从激光光源照射的激光会聚于设置有将具有开口部的气室主体与堵住开口部的盖体接合的密封材料的气室主体与盖体的接合部分，而对接合部分进行加热，边使激光会聚于接合部分，边朝盖体按压气室主体的方向加压，从而将盖体与气室主体接合。
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