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公开(公告)号：CN116266748A
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN202211616281.4
申请日：2022-12-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动片的制造方法以及振动片集合体。降低折下后的保持部形状的偏差。振动片的制造方法具有准备基板的基板准备工序；对基板实施蚀刻加工并形成振动片、框架部以及连接振动片和框架部的保持部的蚀刻工序；以及从框架部折下振动片的折下工序，保持部包括宽度的一部分变窄的宽度缩窄部，宽度缩窄部的宽度在比保持部的中央靠振动片一侧的位置处最小，在剖视时，宽度缩窄部的侧面相对于保持部的平面所成的角度在85°以上且95°以下的范围内，蚀刻加工为干蚀刻。
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