公开(公告)号：CN102653389B

公开(公告)日：2017-08-15

申请号：CN201210050323.2

申请日：2012-02-29

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 白木美穗 ,  竹内淳一

IPC: B81C1/00 ,  B05B1/14

CPC classification number: B81C1/00087

Abstract: 本发明提供一种贯通孔形成方法、喷嘴板以及MEMS器件。在该贯通孔形成方法中，具备对于具有第一基板面、以及作为所述第一基板面的背面的第二基板面的基板，在所述第一基板面上形成多个小孔的工序；对所述小孔与相邻的其它所述小孔之间的隔壁、以及所述小孔的底部进行热氧化而形成热氧化膜的工序；以及将所述热氧化膜除去的工序。

公开(公告)号：CN102653389A

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：CN201210050323.2

申请日：2012-02-29

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 白木美穗 ,  竹内淳一

IPC: B81C1/00 ,  B05B1/14

CPC classification number: B81C1/00087

Abstract: 本发明提供一种贯通孔形成方法、喷嘴板以及MEMS器件。在该贯通孔形成方法中，具备对于具有第一基板面、以及作为所述第一基板面的背面的第二基板面的基板，在所述第一基板面上形成多个小孔的工序；对所述小孔与相邻的其它所述小孔之间的隔壁、以及所述小孔的底部进行热氧化而形成热氧化膜的工序；以及将所述热氧化膜除去的工序。