公开(公告)号：CN100442126C

公开(公告)日：2008-12-10

申请号：CN200610105431.X

申请日：2006-07-06

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 永田康史 ,  清水雄一

IPC: G02F1/1337 ,  G02F1/133 ,  G03B21/00

CPC classification number: G02F1/133734 ,  C23C14/044 ,  C23C14/545 ,  G02F2001/1316

Abstract: 本发明提供一种制造装置，用于制造由夹持在一对对置基板之间的液晶而构成的液晶装置的取向膜，具备：成膜室；蒸镀部，用于在所述成膜室内通过物理蒸镀法将取向膜材料蒸镀到所述基板，形成取向膜；遮蔽板，形成在所述蒸镀部与所述基板之间，具有用于选择性地蒸镀取向膜材料的狭缝状开口部分，覆盖所述基板的没有形成取向膜的区域；和清洁部，将用于除去附着在所述遮蔽板的所述取向膜材料的清洁媒介，朝向所述遮蔽板的所述蒸镀部侧的所述开口部分附近供给。

公开(公告)号：CN1896847A

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：CN200610105431.X

申请日：2006-07-06

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 永田康史 ,  清水雄一

IPC: G02F1/1337 ,  G02F1/133 ,  G03B21/00

CPC classification number: G02F1/133734 ,  C23C14/044 ,  C23C14/545 ,  G02F2001/1316

Abstract: 本发明提供一种制造装置，用于制造由夹持在一对对置基板之间的液晶而构成的液晶装置的取向膜，具备：成膜室；蒸镀部，用于在所述成膜室内通过物理蒸镀法将取向膜材料蒸镀到所述基板，形成取向膜；遮蔽板，形成在所述蒸镀部与所述基板之间，具有用于选择性地蒸镀取向膜材料的狭缝状开口部分，覆盖所述基板的没有形成取向膜的区域；和清洁部，将用于除去附着在所述遮蔽板的所述取向膜材料的清洁媒介，朝向所述遮蔽板的所述蒸镀部侧的所述开口部分附近供给。