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公开(公告)号:CN1856403A
公开(公告)日:2006-11-01
申请号:CN200480027538.6
申请日:2004-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1623 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491
Abstract: 本发明提供了一种能够可靠并长时间防止压电元件破坏的液体喷头、其制造方法和液体喷射装置。另外,本发明提供了能够有效地防止由于压电元件驱动所产生的振动板位移量的下降的液体喷头、其制造方法和液体喷射装置。根据本发明的装置包括:形成有压力产生腔(12)的流动通道形成板(10),该压力产生腔与输送液滴的喷嘴中的开口连通;和压电元件(300),其包括通过振动板布置在流动通道形成板(10)的一个表面上的下电极(60)、压电层(70)和上电极(80)。构成至少压电元件(300)的各层的图案区域被由无机绝缘材料制成的绝缘膜(100)覆盖。
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公开(公告)号:CN1856403B
公开(公告)日:2010-06-02
申请号:CN200480027538.6
申请日:2004-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1623 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491
Abstract: 本发明提供了一种能够可靠并长时间防止压电元件破坏的液体喷头、其制造方法和液体喷射装置。另外,本发明提供了能够有效地防止由于压电元件驱动所产生的振动板位移量的下降的液体喷头、其制造方法和液体喷射装置。根据本发明的装置包括:形成有压力产生腔(12)的流动通道形成板(10),该压力产生腔与输送液滴的喷嘴中的开口连通;和压电元件(300),其包括通过振动板布置在流动通道形成板(10)的一个表面上的下电极(60)、压电层(70)和上电极(80)。构成至少压电元件(300)的各层的图案区域被由无机绝缘材料制成的绝缘膜(100)覆盖。
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