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公开(公告)号：CN104300930A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201410472181.8
申请日：2011-11-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/08 , H03H3/02 , H03H9/02023 , H03H9/0509 , H03H9/1021 , H03H9/177 , H03H9/19
Abstract: 本发明提供一种压电振动片以及压电振子，该压电振动片具有多级型台面结构，并能够实现CI值的降低。本发明所涉及的压电振动片含有：压电基板(10)，其由AT切割水晶基板形成，且以与Y′轴平行的方向作为厚度方向；激励电极(20)，其在压电基板(10)的两主面的振动区域内以在表面和背面对置的方式而配置，压电基板(10)具有：激励部(14)，其为以与X轴平行的边为长边、以与Z′轴平行的边为短边的矩形；周边部(12)，其具有小于激励部(14)的厚度，且被形成在激励部(14)的周边，激励部(14)的、在与X轴平行的方向上延伸的侧面(14a、14b)各自在一个平面内，激励部(14)的、在与Z′轴平行的方向上延伸的侧面(14c、14d)各自具有高低差。
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公开(公告)号：CN104300930B
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201410472181.8
申请日：2011-11-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/08 , H03H3/02 , H03H9/02023 , H03H9/0509 , H03H9/1021 , H03H9/177 , H03H9/19
Abstract: 本发明提供一种压电振动片以及压电振子，该压电振动片具有多级型台面结构，并能够实现CI值的降低。本发明所涉及的压电振动片含有：压电基板(10)，其由AT切割水晶基板形成，且以与Y′轴平行的方向作为厚度方向；激励电极(20)，其在压电基板(10)的两主面的振动区域内以在表面和背面对置的方式而配置，压电基板(10)具有：激励部(14)，其为以与X轴平行的边为长边、以与Z′轴平行的边为短边的矩形；周边部(12)，其具有小于激励部(14)的厚度，且被形成在激励部(14)的周边，激励部(14)的、在与X轴平行的方向上延伸的侧面(14a、14b)各自在一个平面内，激励部(14)的、在与Z′轴平行的方向上延伸的侧面(14c、14d)各自具有高低差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102111117B
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201010523026.6
申请日：2010-10-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H9/19
CPC classification number: H01L41/08 , H03H9/1021 , H03H9/19
Abstract: 本发明的目的在于提供压电振子，其生产性优异，即使在比以往增大台面部的蚀刻量的情况下，也不会使CI值发生劣化。用于达到该目的压电振子的特征在于具备如下压电振动片(12)：在设压电板的长边尺寸为X、厚壁部(14)的厚度尺寸为t、厚壁部(14)的长边尺寸为Mx、激励电极(22)的长边尺寸为Ex、弯曲振动波长为λ时，满足以下关系：λ/2＝(1.332/f)-0.0024、(Mx-Ex)/2＝λ/2、Mx/2＝[(l/2)+(1/4)]λ、X≥20t，其中f是压电振子的谐振频率，l是1、2、3、...中的任意一个；凸部(18)的尺寸Dx和从厚壁部(14)到凸部(18)的尺寸Sx分别满足如下关系：Dx＝(λ/2)×m、Sx＝(λ/2)×n±0.1λ，其中m是1、2、3、...中的任意一个，n是1、2、3、...中的任意一个。
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公开(公告)号：CN102480278B
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201110363382.0
申请日：2011-11-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/08 , H03H3/02 , H03H9/02023 , H03H9/0509 , H03H9/1021 , H03H9/177 , H03H9/19
Abstract: 本发明提供一种压电振动片以及压电振子，该压电振动片具有多级型台面结构，并能够实现CI值的降低。本发明所涉及的压电振动片包括：压电基板(10)，其由AT切割水晶基板形成，且以与Y’轴平行的方向作为厚度方向；激励电极(20)，其在压电基板(10)的两主面的振动区域内以在表面和背面对置的方式而配置，压电基板(10)具有：激励部(14)，其为以与X轴平行的边为长边、以与Z’轴平行的边为短边的矩形；周边部(12)，其具有小于激励部(14)的厚度，且被形成在激励部(14)的周边，激励部(14)的、在与X轴平行的方向上延伸的侧面(14a、14b)各自在一个平面内，激励部(14)的、在与Z’轴平行的方向上延伸的侧面(14c、14d)各自具有高低差。
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公开(公告)号：CN102111117A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN201010523026.6
申请日：2010-10-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H9/19
CPC classification number: H01L41/08 , H03H9/1021 , H03H9/19
Abstract: 本发明的目的在于提供压电振子，其生产性优异，即使在比以往增大台面部的蚀刻量的情况下，也不会使CI值发生劣化。用于达到该目的压电振子的特征在于具备如下压电振动片(12)：在设压电板的长边尺寸为X、厚壁部(14)的厚度尺寸为t、厚壁部(14)的长边尺寸为Mx、激励电极(22)的长边尺寸为Ex、弯曲振动波长为λ时，满足以下关系：λ/2＝(1.332/f)-0.0024、(Mx-Ex)/2＝λ/2、Mx/2＝[(l/2)+(1/4)]λ、X≥20t，其中f是压电振子的谐振频率，l是1、2、3、...中的任意一个；凸部(18)的尺寸Dx和从厚壁部(14)到凸部(18)的尺寸Sx分别满足如下关系：Dx＝(λ/2)×m、Sx＝(λ/2)×n±0.1λ，其中m是1、2、3、...中的任意一个，n是1、2、3、...中的任意一个。
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公开(公告)号：CN104124937A
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201410294537.3
申请日：2010-10-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/08 , H03H9/1021 , H03H9/19
Abstract: 振动片和振子。振动片包括基板和激励电极，基板包括：振动部，其进行厚度剪切振动；周边部，其沿着振动部的外缘中的至少与厚度剪切振动的位移方向交叉的外缘而一体化，厚度比振动部薄；以及凸部，其设置于周边部，激励电极设置于振动部，在设振动部的沿位移方向的长度为Mx、基板的沿位移方向产生的弯曲振动的波长为λ时，满足以下关系：其中，l是正整数，在设凸部的沿位移方向的长度为Dx、振动部与凸部之间的长度为Sx时，满足以下关系：Dx＝(λ/2)×m、(λ/2)×n-0.1×λ≤Sx≤(λ/2)×n+0.1×λ，其中，m是正整数，n是正整数。
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公开(公告)号：CN102480278A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201110363382.0
申请日：2011-11-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/08 , H03H3/02 , H03H9/02023 , H03H9/0509 , H03H9/1021 , H03H9/177 , H03H9/19
Abstract: 本发明提供一种压电振动片以及压电振子，该压电振动片具有多级型台面结构，并能够实现CI值的降低。本发明所涉及的压电振动片包括：压电基板(10)，其由AT切割水晶基板形成，且以与Y’轴平行的方向作为厚度方向；激励电极(20)，其在压电基板(10)的两主面的振动区域内以在表面和背面对置的方式而配置，压电基板(10)具有：激励部(14)，其为以与X轴平行的边为长边、以与Z’轴平行的边为短边的矩形；周边部(12)，其具有小于激励部(14)的厚度，且被形成在激励部(14)的周边，激励部(14)的、在与X轴平行的方向上延伸的侧面(14a、14b)各自在一个平面内，激励部(14)的、在与Z’轴平行的方向上延伸的侧面(14c、14d)各自具有高低差。
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