公开(公告)号：CN1652460A

公开(公告)日：2005-08-10

申请号：CN200510056041.3

申请日：2001-12-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 北村文孝 ,  坂田淳一郎 ,  棚谷英雄

IPC: H03H9/21

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H2003/0492

Abstract: 一种具有基部及从该基部突出形成的振动臂部的振片，其特征为：在上述振动臂部的表面以及/或者内面上形成有槽，同时在上述基部形成有切口部。

公开(公告)号：CN1361590A

公开(公告)日：2002-07-31

申请号：CN01133844.X

申请日：2001-12-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 北村文孝 ,  坂田淳一郎 ,  棚谷英雄

IPC: H03H9/21

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H2003/0492

Abstract: 一种具有基部及从该基部突出形成的振动臂部的振片,其特征为:在上述振动臂部的表面以及/或者内面上有槽形成,同时在上述基部有切口部形成。

公开(公告)号：CN1610253A

公开(公告)日：2005-04-27

申请号：CN200410088224.9

申请日：2004-10-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 梅津一成 ,  吉村和人 ,  船坂司 ,  北村文孝

IPC: H03H3/02 ,  H01L41/00

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H3/02 ,  H03H2003/026 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49126 ,  Y10T29/49128 ,  Y10T29/4913 ,  Y10T29/49155

Abstract: 本发明提供一种压电谐振器的制造方法，包括在晶体所制成的基板上，形成具有板状的基部以及从该基部向一侧方向延伸的多个臂部的振动片的振动片形成工序(S001)，以及给臂部的一面以及另一面照射激光，去除该激光照射部，使沟槽形成为在与该沟槽的长边方向垂直的面上所截取的截面具有给定的形状的激光照射工序(S002)，以及在振动片上形成驱动电极的电极形成工序(S003)。这样，能够通过简单的工序高精度且短时间地形成所期望的沟槽的形状。

公开(公告)号：CN1374153A

公开(公告)日：2002-10-16

申请号：CN02106732.5

申请日：2002-03-04

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 坂田淳一郎 ,  北村文孝 ,  棚谷英雄

IPC: B06B1/00

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03B5/30

Abstract: 一种振动片,具有基座以及从该基座突出地形成的振动臂部,在所说振动臂部上形成有贯通沟槽,并且在该贯通沟槽内设有刚性增强部,因此能够提供频率不会降低、CI值不会增大的振动片。

公开(公告)号：CN1652460B

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200510056041.3

申请日：2001-12-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 北村文孝 ,  坂田淳一郎 ,  棚谷英雄

IPC: H03H9/21

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H2003/0492

Abstract: 一种具有基部及从该基部突出形成的振动臂部的振片，其特征为：在上述振动臂部的表面以及/或者内面上形成有槽，同时在上述基部形成有切口部。

公开(公告)号：CN1201487C

公开(公告)日：2005-05-11

申请号：CN01133844.X

申请日：2001-12-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 北村文孝 ,  坂田淳一郎 ,  棚谷英雄

IPC: H03H9/21

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H2003/0492

Abstract: 一种具有基部及从该基部突出形成的振动臂部的振片，其特征为：在上述振动臂部的表面以及/或者内面上有槽形成，同时在上述基部有切口部形成。

公开(公告)号：CN1194467C

公开(公告)日：2005-03-23

申请号：CN02106732.5

申请日：2002-03-04

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 坂田淳一郎 ,  北村文孝 ,  棚谷英雄

IPC: H03H9/215 ,  H01L41/08

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03B5/30

Abstract: 一种振动片，具有基座以及从该基座突出地形成的振动臂部，在所说振动臂部上形成有贯通沟槽，并且在该贯通沟槽内设有刚性增强部，因此能够提供频率不会降低、CI值不会增大的振动片。