公开(公告)号：CN106058004B

公开(公告)日：2019-11-19

申请号：CN201610118328.2

申请日：2016-03-02

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 伊藤智

IPC: H01L33/48 ,  H01L33/62 ,  H01L33/00

Abstract: 一种电光学装置、电光学装置的制造方法及电子设备，能在支承镜的支承部上不残留牺牲层的情况下，高效地形成表面不存在大凹陷的镜。在电光学装置(100)中，扭曲铰链(35)和镜支承部(38)一体形成在导电部件(31)上，在镜支承部(38)中，位于基板(1)一侧的第1端部(381)形成为朝向基板(1)开口的开放端。在镜支承部(38)中，位于镜(51)一侧的第2端部(382)形成为封闭镜支承部(38)的开口的平板部(385)，镜(51)与平板部(385)的与基板(1)相反一侧的表面接触。用于制造该电光学装置(100)的制造的第1牺牲层(21)通过对感光性树脂的曝光、显影且在形成硬掩膜的状态下的时刻来形成。

公开(公告)号：CN106058004A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201610118328.2

申请日：2016-03-02

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 伊藤智

IPC: H01L33/48 ,  H01L33/62 ,  H01L33/00

Abstract: 一种电光学装置、电光学装置的制造方法及电子设备，能在支承镜的支承部上不残留牺牲层的情况下，高效地形成表面不存在大凹陷的镜。在电光学装置(100)中，扭曲铰链(35)和镜支承部(38)一体形成在导电部件(31)上，在镜支承部(38)中，位于基板(1)一侧的第1端部(381)形成为朝向基板(1)开口的开放端。在镜支承部(38)中，位于镜(51)一侧的第2端部(382)形成为封闭镜支承部(38)的开口的平板部(385)，镜(51)与平板部(385)的与基板(1)相反一侧的表面接触。用于制造该电光学装置(100)的制造的第1牺牲层(21)通过对感光性树脂的曝光、显影且在形成硬掩膜的状态下的时刻来形成。

公开(公告)号：CN102890361A

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201210254429.4

申请日：2012-07-20

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 伊藤智 ,  小野洋平

IPC: G02F1/1335 ,  G02F1/1333 ,  G03B21/00

CPC classification number: G02F1/1333 ,  G02F1/133345 ,  G02F1/1335 ,  G02F2001/133302 ,  G03B21/006

Abstract: 提供一种电光装置、电光装置的制造方法及投影型显示装置，能通过在基板上成膜的密封用的膜确实地堵塞用于构成反射部的沟槽的开口部，并且，将沟槽的侧面被密封用的膜覆盖的情况抑制到最小限度。在电光装置100中，在中空地密封沟槽260时，在形成第1密封膜27之前，在沟槽260内预先形成牺牲膜24，在形成第1密封膜27之后，经由第1密封膜27的贯通部275除去牺牲膜。并且，在第1密封膜27上形成第2密封膜28，用第2密封膜28堵塞第1密封膜27的贯通部275。因此，能以堵塞沟槽260的开口部265的方式形成第1密封膜27，并且，能防止形成第1密封膜27直到沟槽260的里面。

公开(公告)号：CN116774484A

公开(公告)日：2023-09-19

申请号：CN202310769961.8

申请日：2020-03-12

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 伊藤智

IPC: G02F1/1343 ,  G02F1/1362 ,  G02F1/1368 ,  H01L27/12 ,  H01L29/786

Abstract: 提供电光装置以及电子设备，能够抑制显示模糊等动作不良。电光装置具有：基板；像素电极，其配置在所述基板上；以及像素电路部，其配置于所述基板与所述像素电极之间，所述像素电路部具有：扫描线，其沿第1方向配置；数据线，其沿与所述第1方向交叉的第2方向配置；第1恒定电位线，其沿所述扫描线配置；第2恒定电位线，其沿所述数据线配置；晶体管，其对应于所述扫描线与所述数据线的交叉位置地配置，包含与所述扫描线电连接的栅电极、与所述数据线电连接的源区以及与所述像素电极电连接的漏区；以及连接部，其与所述交叉位置对应地配置，将所述第1恒定电位线与所述第2恒定电位线电连接。

公开(公告)号：CN113917741A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202110762203.4

申请日：2021-07-06

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 伊藤智

IPC: G02F1/1343

Abstract: 提供电光装置、电子设备以及电光装置的制造方法，能够提高显示品质。液晶装置在第一基材上具有像素(P)和配置于像素(P)与像素(P)之间的遮光区域的电容元件(16)，电容元件(16)具有：第一电容布线(16a)，其沿着遮光区域配置；电介质层(16c)，其覆盖第一电容布线(16a)的至少连续的3个面(O面、P面、Q面)；以及第二电容布线(16b)，其隔着第一电容布线(16a)和电介质层(16c)与第一电容布线(16a)的至少连续的3个面对置。

公开(公告)号：CN106292101A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610230845.9

申请日：2016-04-14

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 伊藤智

IPC: G02F1/1362 ,  G02F1/1343

CPC classification number: G02F1/133345 ,  G02F1/133371 ,  G02F1/1339 ,  G02F1/13392 ,  G02F1/134309 ,  G02F1/136227 ,  G02F2001/136281 ,  G02F2001/13629 ,  G02F2001/136295 ,  H01L27/1237 ,  H01L27/124 ,  H01L27/1248 ,  G02F1/1343

Abstract: 本发明提供即使在使第二电极与使其从绝缘膜的平坦面露出的第一电极导通的结构的情况下，也能够提高针对形成第二电极的面的构成的自由度的电光学装置以及电子设备。在电光学装置(100)中，中继电极(8a)(第一电极)具备与层间绝缘膜(45)的凸部(45e)重合的导通部(8c)，导通部(8c)从层间绝缘膜(46)的表面(平坦面(460))露出。在层间绝缘膜(46)的表面(平坦面(460))形成有比凸部(45e)的高度h薄的膜厚t的绝缘膜(47)，像素电极(9a)经由绝缘膜况下，由于开口部(47a)较浅，所以不容易在像素电极(9a)的表面产生较大的凹凸。(47)的开口部(47a)与导通部(8c)导通。在该情

公开(公告)号：CN106054375A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201610151350.7

申请日：2016-03-16

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 伊藤智

IPC: G02B26/08

Abstract: 本发明提供一种电光装置、电光装置的制造方法及电子设备，能够在支撑镜的镜支撑部不残留牺牲层而高效地形成表面没有大的凹陷的镜。电光装置(100)的扭转铰链(35)和镜支撑部(38)一体地形成于导电部件(31)，在镜支撑部(第二支撑部)(38)中，基板(1)侧的第一端部(381)为朝向基板(1)开口的开放端。在镜支撑部(38)中，镜(51)侧的第二端部(382)为堵住镜支撑部(38)的开口的平板部(385)，镜(51)和平板部(385)的与基板(1)相反的一侧的面接触。使用于该电光装置(100)的制造的第一牺牲层(21)通过向感光性抗蚀剂进行曝光、显影而形成。

公开(公告)号：CN102890360A

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201210254330.4

申请日：2012-07-20

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 伊藤智

IPC: G02F1/1335 ,  G02F1/1343 ,  G02F1/133 ,  G03B21/00

CPC classification number: G02F1/133553 ,  G02F1/133524

Abstract: 提供一种电光装置及投影型显示装置，改良了构成反射部的沟槽的结构，能效率更好地使入射的光朝向像素电极。在电光装置100中，在第2基板20的基板主体20w(透光性基板)，形成朝向相邻的像素电极9a之间(像素间区域10f)开口的第1沟槽260。另外，在基板主体20w的一方的面20s和第1沟槽260的侧面261、262形成透光膜25，通过这样的透光膜25，在与第1沟槽260俯视重叠的区域，形成比第1沟槽260深且比第1沟槽260宽度窄的第2沟槽265。因此，利用第2沟槽265侧面266、267作为反射面，使本应朝向像素间区域10f的光朝向像素电极9a。

公开(公告)号：CN111694196B

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN202010169368.6

申请日：2020-03-12

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 伊藤智

IPC: G02F1/1362 ,  G02F1/1368 ,  G02F1/1343

Abstract: 提供电光装置以及电子设备，能够抑制显示模糊等动作不良。电光装置具有：基板；像素电极，其配置在所述基板上；以及像素电路部，其配置于所述基板与所述像素电极之间，所述像素电路部具有：扫描线，其沿第1方向配置；数据线，其沿与所述第1方向交叉的第2方向配置；第1恒定电位线，其沿所述扫描线配置；第2恒定电位线，其沿所述数据线配置；晶体管，其对应于所述扫描线与所述数据线的交叉位置地配置，包含与所述扫描线电连接的栅电极、与所述数据线电连接的源区以及与所述像素电极电连接的漏区；以及连接部，其与所述交叉位置对应地配置，将所述第1恒定电位线与所述第2恒定电位线电连接。

公开(公告)号：CN111580298A

公开(公告)日：2020-08-25

申请号：CN202010090281.X

申请日：2020-02-13

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 伊藤智

IPC: G02F1/1335 ,  G02F1/1343

Abstract: 提供电光装置、电子设备以及电光装置的制造方法，该电光装置抑制基材的翘曲的增大，并且遮光性优异，该电子设备具有电光装置。电光装置具有透光性的基材、透光性的像素电极、与所述像素电极电连接的开关元件以及对所述开关元件进行驱动的电路，所述基材具有第1凹部和第2凹部，并且具有：第1遮光体，其配置于所述第1凹部，与所述基材接触，在从所述基材的厚度方向俯视观察时与所述开关元件重叠；以及第2遮光体，其配置于所述第2凹部，与所述基材接触，在所述俯视观察时与所述电路重叠，所述第1遮光体的厚度与所述第2遮光体的厚度彼此不同。