公开(公告)号：CN100569354C

公开(公告)日：2009-12-16

申请号：CN200480016492.8

申请日：2004-04-19

Applicant: 等离子控制系统有限责任公司

Inventor： P·A·普日比尔

IPC: B01J19/08

CPC classification number: H01J37/32522 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32128 ,  H01J37/32174 ,  H01Q7/00 ,  H01Q21/205 ,  H05H1/46

Abstract: 公开了使等离子体源消除对于匹配电路的需要的方法，该方法包括：为射频电源提供低输出阻抗；选择将该射频电源耦合到至少一组天线回路的电容，以使没有等离子体情况下的所述电容和所述天线回路具有等于所述等离子体的特定频率的谐振频率；以及通过调制占空因数来控制平均输入功率，以操作该射频电源，或是改变操作该射频电源的占空因数来调制该等离子体的空间分布。也公开了作为用于产生高密度等离子体的方法和系统的一部分的射频驱动电路和正交天线装置/配置。还公开了为射频等离子体源提供调谐的电容或电感值的选择。并提供了用于以大约数十Hz到高达数百KHz的频率在两个或多个功率电平之间快速切换等离子体的方法。

公开(公告)号：CN1602563A

公开(公告)日：2005-03-30

申请号：CN02824545.8

申请日：2002-10-09

Applicant: 等离子控制系统有限责任公司

Inventor： J·D·埃文斯 ,  P·A·普日比尔

IPC: H01Q1/12 ,  H01J1/00

CPC classification number: H01J37/32128 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/32522 ,  H01Q7/00 ,  H01Q21/205 ,  H05H1/46

Abstract: 公开了用于产生高密度等离子体的方法和系统的部分的一种RF驱动电路和正交的天线组件/布置。该天线组件(105，115，110，120)是正交天线系统，该系统可以由具有适当阻抗匹配的任意RF产生器/电路系统(125，130)驱动来提供低输出阻抗。所公开的RF驱动电路使用开关类型放大器元件并且提供低输出阻抗。所公开的低输出阻抗RF驱动电路省略了对于干扰与等离子体相关的该固有阻抗变化的匹配电路。还公开了选择电容和电感值来提供用于该RF等离子体源的调谐。

公开(公告)号：CN1852764A

公开(公告)日：2006-10-25

申请号：CN200480016492.8

申请日：2004-04-19

Applicant: 等离子控制系统有限责任公司

Inventor： P·A·普日比尔

IPC: B01J19/08

CPC classification number: H01J37/32522 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32128 ,  H01J37/32174 ,  H01Q7/00 ,  H01Q21/205 ,  H05H1/46

Abstract: 公开了作为用于产生高密度等离子体的方法和系统的一部分的射频驱动电路和正交天线装置/配置。该天线装置是可由具有适当阻抗匹配、以提供低阻抗的射频发生器/电路驱动的正交天线系统，公开的射频驱动电路使用开关型放大器元件，并提供低输出阻抗。公开的低输出阻抗射频驱动电路消除了对用于和与等离子体相关联的固有阻抗变化连接的匹配电路的需要。还公开了为射频等离子体源提供调谐的电容或电感值的选择。还提供了用于以大约数十Hz到高达数百KHz的频率在两个或多个功率电平之间快速切换等离子体的方法。