公开(公告)号：CN1602563A

公开(公告)日：2005-03-30

申请号：CN02824545.8

申请日：2002-10-09

Applicant: 等离子控制系统有限责任公司

Inventor： J·D·埃文斯 ,  P·A·普日比尔

IPC: H01Q1/12 ,  H01J1/00

CPC classification number: H01J37/32128 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/32522 ,  H01Q7/00 ,  H01Q21/205 ,  H05H1/46

Abstract: 公开了用于产生高密度等离子体的方法和系统的部分的一种RF驱动电路和正交的天线组件/布置。该天线组件(105，115，110，120)是正交天线系统，该系统可以由具有适当阻抗匹配的任意RF产生器/电路系统(125，130)驱动来提供低输出阻抗。所公开的RF驱动电路使用开关类型放大器元件并且提供低输出阻抗。所公开的低输出阻抗RF驱动电路省略了对于干扰与等离子体相关的该固有阻抗变化的匹配电路。还公开了选择电容和电感值来提供用于该RF等离子体源的调谐。