公开(公告)号：CN203912302U

公开(公告)日：2014-10-29

申请号：CN201420155874.X

申请日：2014-02-11

Applicant: 科罗拉多州立大学研究基金会

Inventor： G·J·柯林斯 ,  具一教 ,  尹熙相 ,  崔明烈 ,  C·W·阿尔姆格伦

IPC: H05H1/24

CPC classification number: H05H1/24 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32348 ,  H01J37/32532 ,  H01J37/3255

Abstract: 本实用新型公开了一种等离子体系统。所述等离子体系统包括：包括至少一个电极的等离子体装置；被联接到等离子体装置的可电离介质源，所述可电离介质源被配置成向等离子体装置供应可电离介质；配置成向等离子体装置供应至少一种前体给料的前体源，其中，所述至少一种前体给料包括至少一种催化剂材料；和被联接到内侧电极和外侧电极的功率源，所述功率源配置成在等离子体装置处触发可电离介质和所述至少一种前体给料，以形成等离子体流出物。