等离子体系统
    2.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203912302U

    公开(公告)日:2014-10-29

    申请号:CN201420155874.X

    申请日:2014-02-11

    Abstract: 本实用新型公开了一种等离子体系统。所述等离子体系统包括:包括至少一个电极的等离子体装置;被联接到等离子体装置的可电离介质源,所述可电离介质源被配置成向等离子体装置供应可电离介质;配置成向等离子体装置供应至少一种前体给料的前体源,其中,所述至少一种前体给料包括至少一种催化剂材料;和被联接到内侧电极和外侧电极的功率源,所述功率源配置成在等离子体装置处触发可电离介质和所述至少一种前体给料,以形成等离子体流出物。

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