公开(公告)号：CN116057467A

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN202180053904.9

申请日：2021-09-01

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·萨夫兰尼 ,  A·帕希玛 ,  R·鲁多伊 ,  S·马克

IPC: G03F1/66

Abstract: 提供一种光罩检验系统及一种在光罩检验系统中处置光罩的方法。所述光罩检验系统包含有源光罩载体及检验工具。所述光罩安置在所述有源光罩载体上，并且所述检验工具经配置以当所述有源光罩载体安置在光罩载物台上时确定所述光罩的定向。所述有源光罩载体可在装载站与所述光罩载物台之间移动，并且经配置以当所述有源载体安置在所述光罩载物台上时，基于所述光罩的所述定向旋转所述光罩以重新定向所述光罩。

公开(公告)号：CN116057467B

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202180053904.9

申请日：2021-09-01

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·萨夫兰尼 ,  A·帕希玛 ,  R·鲁多伊 ,  S·马克

IPC: G03F1/66