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公开(公告)号：CN112955732B
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN201980072399.5
申请日：2019-11-01
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 本发明公开一种用于特性化样品的系统。在一个实施例中，所述系统包含控制器，所述控制器经配置以：接收所述样品的一或多个缺陷的训练图像；基于所述训练图像生成机器学习分类器；接收样品的一或多个缺陷的产品图像；运用所述机器学习分类器确定一或多个缺陷的一或多个缺陷类型分类；运用一或多个平滑滤波器过滤所述产品图像；执行二值化过程以生成二值化产品图像；对所述二值化产品图像执行形态图像处理操作；基于所述二值化产品图像确定所述一或多个缺陷的一或多个算法估计的缺陷大小；及基于所述一或多个算法估计的缺陷大小及所述一或多个缺陷类型分类确定所述一或多个缺陷的一或多个缺陷大小的一或多个改进估计值。
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公开(公告)号：CN112955732A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201980072399.5
申请日：2019-11-01
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 本发明公开一种用于特性化样品的系统。在一个实施例中，所述系统包含控制器，所述控制器经配置以：接收所述样品的一或多个缺陷的训练图像；基于所述训练图像生成机器学习分类器；接收样品的一或多个缺陷的产品图像；运用所述机器学习分类器确定一或多个缺陷的一或多个缺陷类型分类；运用一或多个平滑滤波器过滤所述产品图像；执行二值化过程以生成二值化产品图像；对所述二值化产品图像执行形态图像处理操作；基于所述二值化产品图像确定所述一或多个缺陷的一或多个算法估计的缺陷大小；及基于所述一或多个算法估计的缺陷大小及所述一或多个缺陷类型分类确定所述一或多个缺陷的一或多个缺陷大小的一或多个改进估计值。
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