公开(公告)号：CN114342056A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202080061550.8

申请日：2020-09-08

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·萨夫兰尼 ,  S·马克 ,  A·艾曾 ,  M·阿尔比特

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  H01L21/68 ,  B25J11/00 ,  H04N5/247 ,  H04N7/18 ,  H04W4/38

Abstract: 将教导衬底装载到制作或检验工具的装备前端模块(EFEM)的装载口中。所述EFEM包含衬底搬运机器人。所述教导衬底包含多个传感器及一或多个无线收发器。所述工具包含多个工作站。在所述教导衬底位于所述EFEM中的情况下，所述衬底搬运机器人沿着初始路线移动且从所述教导衬底无线地接收传感器数据。至少部分地基于所述传感器数据，确定不同于所述初始路线的经修改路线。所述衬底搬运机器人沿着所述经修改路线移动，从而搬运所述教导衬底。至少部分地基于所述传感器数据，确定所述多个工作站的位置。