公开(公告)号：CN104870984A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201380067473.7

申请日：2013-11-12

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： J·林 ,  A·帕克 ,  E·张 ,  R·威灵福德 ,  S·龙 ,  C·巴哈斯卡尔

IPC: G01N21/88 ,  G06T7/00 ,  H01L21/66

CPC classification number: G06T7/001 ,  G06T2207/30148

Abstract: 混合模式包含接收检验结果，所述检验结果包含晶片的选定区域的一或多个图像，所述一或多个图像包含一或多个晶片裸片，所述一或多个晶片裸片包含一组重复块，所述组重复块包含一组重复单元。另外，混合模式检验包含调整所述一或多个图像的像素大小，以将每一单元、块及裸片映射到整数数目个像素。此外，混合模式检验包含：比较第一晶片裸片与第二晶片裸片，以识别所述第一晶片裸片或所述第二晶片裸片中的一或多个缺陷的发生；比较第一块与第二块，以识别所述第一块或所述第二块中的一或多个缺陷的发生；及比较第一单元与第二单元，以识别所述第一单元或所述第二单元中的一或多个缺陷的发生。