Patent search ap:("科磊股份有限公司") AND inv:"I·布林斯特" Page 1

1.

发明公开
仅用于不合规检测的计量取样计划审中-实审

公开(公告)号：CN119452245A

公开(公告)日：2025-02-14

申请号：CN202380045341.8

申请日：2023-07-25

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： F·阿尼斯 , I·布林斯特

IPC: G01N21/88 , G01N21/95 , G01N21/956 , G01B11/27 , H01L21/67 , H01L21/66

Abstract: 提供用于确定样品的信息的方法及系统。一种方法包含产生仅用于计量过程中的样品的特性的不合规检测的取样计划。所述方法还包含通过使用所述所产生的取样计划对所述样品执行所述计量过程来产生所述样品的输出。另外，所述方法包含基于所述所产生的输出来确定所述样品的所述特性及基于所述样品的所述所确定特性来检测所述样品中的一或多者的所述特性是否不合规。本文所描述的实施例特别适合于具有经配置仅用于叠加的不合规检测的大体上稀疏取样计划的叠加计量。

Patent Agency Ranking