公开(公告)号：CN117999474B

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202380013729.X

申请日：2023-03-31

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： R·M·丹恩 ,  S·帕克 ,  D·斯塔罗杜布 ,  A·塞兹希内尔

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/956 ,  G06T7/00 ,  G06N20/00 ,  G06V10/70

Abstract: 一种检验系统可在第一过程步骤之后产生多个样本区的第一步骤图像且在第二过程步骤之后产生所述样本区的第二步骤图像，其中所述第二过程步骤在所述样本区中的至少一者中修改样本。所述系统可进一步将所述样本区中的一者识别为测试区且将剩余样本区中的至少一些识别为比较区，其中所述测试区的所述第二步骤图像是测试图像且所述比较区的所述第二步骤图像是比较图像。所述系统可进一步通过从所述测试图像删减第二步骤比较图像中的至少一者及所述第一步骤图像中的至少两者的组合而产生多步骤差异图像。所述系统可进一步基于所述多步骤差异图像识别与所述第二过程步骤相关联的所述测试区中的缺陷。

公开(公告)号：CN117999474A

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN202380013729.X

申请日：2023-03-31

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： R·M·丹恩 ,  S·帕克 ,  D·斯塔罗杜布 ,  A·塞兹希内尔

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/956 ,  G06T7/00 ,  G06N20/00 ,  G06V10/70

Abstract: 一种检验系统可在第一过程步骤之后产生多个样本区的第一步骤图像且在第二过程步骤之后产生所述样本区的第二步骤图像，其中所述第二过程步骤在所述样本区中的至少一者中修改样本。所述系统可进一步将所述样本区中的一者识别为测试区且将剩余样本区中的至少一些识别为比较区，其中所述测试区的所述第二步骤图像是测试图像且所述比较区的所述第二步骤图像是比较图像。所述系统可进一步通过从所述测试图像删减第二步骤比较图像中的至少一者及所述第一步骤图像中的至少两者的组合而产生多步骤差异图像。所述系统可进一步基于所述多步骤差异图像识别与所述第二过程步骤相关联的所述测试区中的缺陷。