公开(公告)号：CN110392920B

公开(公告)日：2021-05-14

申请号：CN201880011345.3

申请日：2018-01-03

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： W·皮尔逊 ,  O·N·德米雷尔 ,  B·里格斯

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67

Abstract: 一种用于确定用于对准测量的样本图的系统包含计量工具及控制器。所述控制器定义包含多个测量位置的全取样图。所述控制器引导所述计量工具针对多个样本在所述全取样图的每一测量位置处测量对准以产生参考对准数据集，且所述控制器产生各自为所述全取样图的子集的候选取样图。所述控制器进一步可基于所述两个或多于两个候选取样图在所述全取样图的每一测量位置处依据位置估计对准，且通过比较所述估计对准与所述参考对准数据集且选择具有超过选定容限的最小数目个对准估计的所述候选取样图而确定工作取样图。

公开(公告)号：CN110392920A

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201880011345.3

申请日：2018-01-03

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： W·皮尔逊 ,  O·N·德米雷尔 ,  B·里格斯

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67

Abstract: 一种用于确定用于对准测量的样本图的系统包含计量工具及控制器。所述控制器定义包含多个测量位置的全取样图。所述控制器引导所述计量工具针对多个样本在所述全取样图的每一测量位置处测量对准以产生参考对准数据集，且所述控制器产生各自为所述全取样图的子集的候选取样图。所述控制器进一步可基于所述两个或多于两个候选取样图在所述全取样图的每一测量位置处依据位置估计对准，且通过比较所述估计对准与所述参考对准数据集且选择具有超过选定容限的最小数目个对准估计的所述候选取样图而确定工作取样图。