公开(公告)号：CN109952502A

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：CN201780068639.5

申请日：2017-11-20

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： D·C·欧兰 ,  A·马修尔 ,  K·吴 ,  E·希夫林

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明提供一种用于调谐经调制晶片的敏感度及确定用于所述经调制晶片的工艺窗的系统、方法及非暂时性计算机可读媒体。基于单组参数而动态地调谐所述经调制晶片的裸片的敏感度。此外，依据现有所确定的参数特定标称工艺窗而确定用于所述经调制晶片的所述工艺窗。

公开(公告)号：CN114203571A

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202111516089.3

申请日：2017-11-20

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： D·C·欧兰 ,  A·马修尔 ,  K·吴 ,  E·希夫林

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  G01N21/95 ,  G01N21/88

Abstract: 本申请实施例涉及用于调谐经调制晶片的敏感度及确定用于经调制晶片的工艺窗的系统、方法及非暂时性计算机可读媒体。本发明提供一种用于调谐经调制晶片的敏感度及确定用于所述经调制晶片的工艺窗的系统、方法及非暂时性计算机可读媒体。基于单组参数而动态地调谐所述经调制晶片的裸片的敏感度。此外，依据现有所确定的参数特定标称工艺窗而确定用于所述经调制晶片的所述工艺窗。

公开(公告)号：CN109952502B

公开(公告)日：2022-05-24

申请号：CN201780068639.5

申请日：2017-11-20

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： D·C·欧兰 ,  A·马修尔 ,  K·吴 ,  E·希夫林

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明提供一种用于调谐经调制晶片的敏感度及确定用于所述经调制晶片的工艺窗的系统、方法及非暂时性计算机可读媒体。基于单组参数而动态地调谐所述经调制晶片的裸片的敏感度。此外，依据现有所确定的参数特定标称工艺窗而确定用于所述经调制晶片的所述工艺窗。