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公开(公告)号：CN109690234B
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN201780056222.7
申请日：2017-09-14
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： A·玛纳森 , 安迪(安德鲁)·希尔
Abstract: 本发明揭示用于凭借具有光学相干断层摄影术OCT聚焦系统的干涉仪装置通过分别引导经重叠测量波前及参考波前朝向聚焦传感器及朝向成像传感器进行聚焦且测量的方法及系统；其中引导所述经重叠波前的预定义聚焦照明光谱朝向所述聚焦传感器，且其中引导所述经重叠波前的预定义测量照明光谱朝向所述成像传感器。本发明揭示用于在样品的载物台移动期间，维持具有OCT聚焦系统的干涉仪装置的聚焦的方法及系统。
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公开(公告)号：CN113739694B
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202111036968.6
申请日：2017-09-14
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： A·玛纳森 , 安迪(安德鲁)·希尔
IPC: G01B9/02015 , G03F7/20
Abstract: 本申请实施例涉及用于优化以成像为基础的覆盖度量的聚焦的系统及方法。本发明揭示用于凭借具有光学相干断层摄影术OCT聚焦系统的干涉仪装置通过分别引导经重叠测量波前及参考波前朝向聚焦传感器及朝向成像传感器进行聚焦且测量的方法及系统；其中引导所述经重叠波前的预定义聚焦照明光谱朝向所述聚焦传感器，且其中引导所述经重叠波前的预定义测量照明光谱朝向所述成像传感器。本发明揭示用于在样品的载物台移动期间，维持具有OCT聚焦系统的干涉仪装置的聚焦的方法及系统。
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公开(公告)号：CN113739694A
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202111036968.6
申请日：2017-09-14
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： A·玛纳森 , 安迪(安德鲁)·希尔
Abstract: 本申请实施例涉及用于优化以成像为基础的覆盖度量的聚焦的系统及方法。本发明揭示用于凭借具有光学相干断层摄影术OCT聚焦系统的干涉仪装置通过分别引导经重叠测量波前及参考波前朝向聚焦传感器及朝向成像传感器进行聚焦且测量的方法及系统；其中引导所述经重叠波前的预定义聚焦照明光谱朝向所述聚焦传感器，且其中引导所述经重叠波前的预定义测量照明光谱朝向所述成像传感器。本发明揭示用于在样品的载物台移动期间，维持具有OCT聚焦系统的干涉仪装置的聚焦的方法及系统。
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公开(公告)号：CN109564157B
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN201780050429.3
申请日：2017-08-09
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 安迪(安德鲁)·希尔 , 阿姆农·玛纳森 , 欧哈德·巴沙尔
Abstract: 本发明涉及一种度量系统，其包含：照明源，其用于产生照明光束；多通道光谱滤波器；聚焦元件，其用于将照明从单个光学柱引导到样本；及至少一个检测器，其用于捕获从所述样本收集的照明。所述多通道光谱滤波器包含具有两个或两个以上通道光束路径的两个或两个以上滤波通道。所述两个或两个以上滤波通道基于两个或两个以上光谱透射率分布来过滤沿所述两个或两个以上通道光束路径传播的照明。所述多通道光学滤波器进一步包含用于将所述照明光束的至少一部分引导到至少一个选定滤波通道中以过滤所述照明光束的通道选择器。所述多通道光谱滤波器进一步包含用于将来自所述两个或两个以上滤波通道的照明组合成单个光学柱的至少一个光束组合器。
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公开(公告)号：CN112432926A
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN202011221908.7
申请日：2017-07-28
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 安迪(安德鲁)·希尔 , 阿姆农·玛纳森 , 尤里·帕斯卡维尔 , 尤瓦尔·卢巴舍夫斯基
Abstract: 本申请实施例涉及同时捕捉来自多个目标的重叠信号。本发明提供计量方法及系统，其中在所述计量系统的光学系统的收集路径的场平面处将经检测图像分裂成至少两个光瞳平面图像。例如棱镜的光学元件可用于分裂所述场平面图像，且可通过空间分裂所述场平面及/或所述照明源及/或通过使用两个极化类型来同时测量多个目标或目标单元。同时捕捉多个目标或目标单元会增加所揭示计量系统的吞吐量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109564160B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201780046742.X
申请日：2017-07-28
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 安迪(安德鲁)·希尔 , 阿姆农·玛纳森 , 尤里·帕斯卡维尔 , 尤瓦尔·卢巴舍夫斯基
Abstract: 本发明提供计量方法及系统，其中在所述计量系统的光学系统的收集路径的场平面处将经检测图像分裂成至少两个光瞳平面图像。例如棱镜的光学元件可用于分裂所述场平面图像，且可通过空间分裂所述场平面及/或所述照明源及/或通过使用两个极化类型来同时测量多个目标或目标单元。同时捕捉多个目标或目标单元会增加所揭示计量系统的吞吐量。
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公开(公告)号：CN106104202B
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201580013650.2
申请日：2015-03-20
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 阿姆农·玛纳森 , 安迪(安德鲁)·希尔 , 阿维·阿布拉莫夫
IPC: G01B11/25
CPC classification number: G01N21/8806 , G01J1/0228 , G01J3/02 , G01J3/021 , G01J3/0218 , G01J3/0229 , G01J3/2823 , G01N21/47 , G01N21/8851 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N21/95623 , G01N2021/8848 , G01N2201/06 , G03F7/70633
Abstract: 提供进行以下操作的方法及系统：相对于光谱范围及/或偏振而图案化计量目标的照明；用所述经图案化照明来照明计量目标；及通过在光瞳平面处将来自光瞳平面图像的选定光瞳平面像素引导到相应单检测器而测量从所述目标散射的辐射，所述引导是通过将收集图案应用于所述光瞳平面像素而进行。单检测器测量(压缩感测)具有经增加光敏感性，其用于图案化所述照明且相对于预定义计量参数进一步增强所检测到的经散射辐射的信息量。
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公开(公告)号：CN109690234A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201780056222.7
申请日：2017-09-14
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： A·玛纳森 , 安迪(安德鲁)·希尔
CPC classification number: G01B9/02035 , G01B9/02042 , G01B9/02091 , G01B11/272 , G01B2210/56 , G03F7/70633
Abstract: 本发明揭示用于凭借具有光学相干断层摄影术OCT聚焦系统的干涉仪装置通过分别引导经重叠测量波前及参考波前朝向聚焦传感器及朝向成像传感器进行聚焦且测量的方法及系统；其中引导所述经重叠波前的预定义聚焦照明光谱朝向所述聚焦传感器，且其中引导所述经重叠波前的预定义测量照明光谱朝向所述成像传感器。本发明揭示用于在样品的载物台移动期间，维持具有OCT聚焦系统的干涉仪装置的聚焦的方法及系统。
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公开(公告)号：CN109564160A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201780046742.X
申请日：2017-07-28
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 安迪(安德鲁)·希尔 , 阿姆农·玛纳森 , 尤里·帕斯卡维尔 , 尤瓦尔·卢巴舍夫斯基
Abstract: 本发明提供计量方法及系统，其中在所述计量系统的光学系统的收集路径的场平面处将经检测图像分裂成至少两个光瞳平面图像。例如棱镜的光学元件可用于分裂所述场平面图像，且可通过空间分裂所述场平面及/或所述照明源及/或通过使用两个极化类型来同时测量多个目标或目标单元。同时捕捉多个目标或目标单元会增加所揭示计量系统的吞吐量。
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公开(公告)号：CN109564157A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201780050429.3
申请日：2017-08-09
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 安迪(安德鲁)·希尔 , 阿姆农·玛纳森 , 欧哈德·巴沙尔
CPC classification number: G01N21/255 , G01J1/0418 , G01J1/4257 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/06 , G01J3/10 , G01J3/12 , G01J2001/4247 , G01J2003/069 , G01J2003/1213 , G01J2003/1217 , G01J2003/1221 , G01J2003/1234 , G01N2201/0666 , G01N2201/0668 , G01N2201/0675 , G01N2201/0683 , G03F7/70633
Abstract: 本发明涉及一种度量系统，其包含：照明源，其用于产生照明光束；多通道光谱滤波器；聚焦元件，其用于将照明从单个光学柱引导到样本；及至少一个检测器，其用于捕获从所述样本收集的照明。所述多通道光谱滤波器包含具有两个或两个以上通道光束路径的两个或两个以上滤波通道。所述两个或两个以上滤波通道基于两个或两个以上光谱透射率分布来过滤沿所述两个或两个以上通道光束路径传播的照明。所述多通道光学滤波器进一步包含用于将所述照明光束的至少一部分引导到至少一个选定滤波通道中以过滤所述照明光束的通道选择器。所述多通道光谱滤波器进一步包含用于将来自所述两个或两个以上滤波通道的照明组合成单个光学柱的至少一个光束组合器。
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