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公开(公告)号：CN101517706A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200780035927.7
申请日：2007-08-22
Applicant: 科发伦材料株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H05B3/145 , C23C16/4581 , C23C16/46 , H01L21/67103
Abstract: 本发明提供了面状加热器及具有此面状加热器的半导体热处理装置，其中，此面状加热器通过包括抑制高频感应的接地电极来抑制高频感应发热，并且此面状加热器不受被激励的反应气体的侵蚀。面状加热器1的特征为，其具有在二氧化硅玻璃板状体2内部配置并密封为平面状的碳线发热体CW、以及在此碳线发热体CW的上方的二氧化硅玻璃板状体2内部配置并密封为平面状的接地电极3。
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公开(公告)号：CN101517706B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200780035927.7
申请日：2007-08-22
Applicant: 科发伦材料株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H05B3/145 , C23C16/4581 , C23C16/46 , H01L21/67103
Abstract: 本发明提供了面状加热器及具有此面状加热器的半导体热处理装置，其中，此面状加热器通过包括抑制高频感应的接地电极来抑制高频感应发热，并且此面状加热器不受被激励的反应气体的侵蚀。面状加热器(1)的特征为，其具有在二氧化硅玻璃板状体(2)内部配置并密封为平面状的碳线发热体(CW)、以及在此碳线发热体(CW)的上方的二氧化硅玻璃板状体(2)内部配置并密封为平面状的接地电极(3)。
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公开(公告)号：CN101390444B
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200780006156.9
申请日：2007-02-07
Applicant: 科发伦材料株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H05B3/145 , H01L21/67103 , H05B3/143 , H05B3/283 , H05B2203/002 , H05B2203/003 , H05B2203/014 , H05B2203/016 , H05B2203/037
Abstract: 本发明提供一种具备能够形成大致均匀的加热温度的碳线发热体的面状加热器。该碳线发热体(CW)的面内配置密度在内侧区域与外侧区域相异。具有向发热体(CW)通电的连接线的电源端子部配置在石英玻璃板状体的背面侧的中央部。内侧的碳线发热体的连接线在石英玻璃板状体的中央部被连接，外侧的碳线发热体的连接线(3a、3b)和内侧的碳线发热体(CW)不交叉，从石英玻璃板状体的中央部延伸设置至外侧区域，并与外侧的碳线发热体(CW)连接。
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公开(公告)号：CN101390444A
公开(公告)日：2009-03-18
申请号：CN200780006156.9
申请日：2007-02-07
Applicant: 科发伦材料株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H05B3/145 , H01L21/67103 , H05B3/143 , H05B3/283 , H05B2203/002 , H05B2203/003 , H05B2203/014 , H05B2203/016 , H05B2203/037
Abstract: 本发明提供一种具备能够形成大致均匀的加热温度的碳线发热体的面状加热器。该碳线发热体(CW)的面内配置密度在内侧区域与外侧区域相异。具有向发热体(CW)通电的连接线的电源端子部配置在石英玻璃板状体的背面侧的中央部。内侧的碳线发热体的连接线在石英玻璃板状体的中央部被连接，外侧的碳线发热体的连接线(3a、3b)和内侧的碳线发热体(CW)不交叉，从石英玻璃板状体的中央部延伸设置至外侧区域，并与外侧的碳线发热体(CW)连接。
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