公开(公告)号：CN101442845A

公开(公告)日：2009-05-27

申请号：CN200810176276.X

申请日：2008-11-19

Applicant: 科发伦材料株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 岛贯和彦 ,  林大辅

IPC: H05B3/86 ,  H05B3/14 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67103 ,  H05B3/143

Abstract: 本发明涉及一种面状加热器(1)，其中供给电力的电源端子部(108)设置在石英玻璃板状体(102)的下表面中央部，上述电源端子部具备：收容对碳丝发热体供给电力的连接线的小直径的石英玻璃管(105a、106a)以及收容小直径的石英玻璃管(105a、106a)的大直径的石英玻璃管(2)，在上述大直径的石英玻璃管(2)的下端部形成有凸缘部(2a)，并且在上端部和上述凸缘部(2a)之间形成有使直径不同的弯曲部(2b)，而且在上述弯曲部下方的大直径的石英玻璃管内，收容有由金属板或不透明石英玻璃板构成的第一热屏蔽板(19、20、21)。

公开(公告)号：CN101442845B

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN200810176276.X

申请日：2008-11-19

Applicant: 科发伦材料株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 岛贯和彦 ,  林大辅

IPC: H05B3/86 ,  H05B3/14 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67103 ,  H05B3/143

Abstract: 本发明涉及一种面状加热器(1)，其中供给电力的电源端子部(108)设置在石英玻璃板状体(102)的下表面中央部，上述电源端子部具备：收容对碳丝发热体供给电力的连接线的小直径的石英玻璃管(105a、106a)以及收容小直径的石英玻璃管(105a、106a)的大直径的石英玻璃管(2)，在上述大直径的石英玻璃管(2)的下端部形成有凸缘部(2a)，并且在上端部和上述凸缘部(2a)之间形成有使直径不同的弯曲部(2b)，而且在上述弯曲部下方的大直径的石英玻璃管内，收容有由金属板或不透明石英玻璃板构成的第一热屏蔽板(19、20、21)。

公开(公告)号：CN1286155C

公开(公告)日：2006-11-22

申请号：CN03123303.1

申请日：2003-03-29

Applicant: 东芝陶瓷株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 岛贯和彦 ,  本间浩幸 ,  斋藤纪彦 ,  横山秀幸 ,  斋藤孝规 ,  中尾贤

IPC: H01L21/324 ,  H05B3/02

CPC classification number: H01L21/67115 ,  H01L21/68757

Abstract: 提供一种半导体热处理用反射板，通过抑制异物的附着、反应气体的产生来防止破裂、变形。在在将由从碳、SiC、TiN、Au、Pt或热膨胀石墨薄片中任选一种的无机材料构成的板状体(2)密闭配置在圆板状或环状的透光材料构成的板状体(3)内的半导体热处理用反射板(1)中，与所述透光材料构成的板状体连接的无机材料构成的板状体的至少一表面(2a)的表面粗糙度Ra为0.1至至10.0μm，并且在该表面上形成从内周端到外周端的直线状沟(2c)。

公开(公告)号：CN1449000A

公开(公告)日：2003-10-15

申请号：CN03123303.1

申请日：2003-03-29

Applicant: 东芝陶瓷株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 岛贯和彦 ,  本间浩幸 ,  斋藤纪彦 ,  横山秀幸 ,  斋藤孝规 ,  中尾贤

IPC: H01L21/324 ,  H05B3/02

CPC classification number: H01L21/67115 ,  H01L21/68757

Abstract: 提供一种半导体热处理用反射板，通过抑制异物的附着、反应气体的产生来防止破裂、变形。在圆板状或环状的透光材料构成的板状体(3)内，在密闭配置了无机材料构成的板状体(2)的半导体热处理用反射板(1)中，与所述透光材料构成的板状体连接的无机材料构成的板状体的至少一表面(2a)的表面粗糙度Ra为0.1～10.0μm，并且在该表面上形成沟(2c)。