公开(公告)号：CN106847954A

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201710039053.8

申请日：2017-01-18

Applicant: 福建农林大学

Inventor： 郑清洪 ,  陈礼辉 ,  黄六莲 ,  欧阳新华 ,  杨海洋

IPC: H01L31/032 ,  H01L31/109 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/0321 ,  H01L31/109 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开一种垂直结构ZnMgO自驱动日盲紫外光电探测器面阵及其制备方法，具体是指在透明衬底上生长一层超宽带隙、高载流子浓度的掺杂ZnxMg1‑xO薄膜作为透明导电窗口层；再生长一层日盲带隙、低载流子浓度的掺杂ZnyMg1‑yO薄膜作为n型层；进而生长一层NizMg1‑zO薄膜作为p型层；刻蚀掉部分p型层和n型层，露出部分透明导电窗口层；在露出的透明导电窗口层上制备n型环形共电极，在p型层上制备p型阵列电极；最终获得垂直结构ZnMgO自驱动日盲紫外光电探测器面阵。本发明利用ZnyMg1‑yO/NizMg1‑zO异质pn结实现日盲紫外信号的自驱动探测；利用超宽带隙透明导电窗口层大大提高器件的光电性能；探测器为垂直结构，通过制备共电极和阵列电极可实现面阵的制备，并应用于日盲紫外信号的成像和追踪。

公开(公告)号：CN106711270A

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201710012296.2

申请日：2017-01-09

Applicant: 福建农林大学

Inventor： 郑清洪 ,  陈礼辉 ,  欧阳新华 ,  黄六莲 ,  杨海洋

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/09 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法，具体是指利用气相沉积法制备氧化镓微米带材料，将其作为日盲紫外光的光敏材料，将氧化镓微米带材料转移到柔性衬底上，再结合掩模和真空镀膜方法在氧化镓微米带的两端制备金属电极，最终制备获得柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器。本发明首次利用柔性的氧化镓微米带材料结合柔性衬底制备出柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器，该器件具有针对日盲紫外光的特征响应和柔性可弯曲的特点。柔性探测器件具有重复弯曲可恢复性，可以应用于可穿戴探测设备、弯曲屏交互设备、仿生组织等领域；可以大幅提高日盲光电探测系统的便携性、设置及设计的自由度。

公开(公告)号：CN106373669A

公开(公告)日：2017-02-01

申请号：CN201610881369.7

申请日：2016-10-10

Applicant: 福建农林大学

Inventor： 郑清洪 ,  陈礼辉 ,  曹石林 ,  黄六莲 ,  杨海洋

IPC: H01B13/00 ,  H01B5/14 ,  C23C14/35 ,  C23C14/08 ,  C23C14/58 ,  C23C16/40 ,  C23C16/56

CPC classification number: H01B13/00 ,  C23C14/086 ,  C23C14/35 ,  C23C14/5806 ,  C23C16/407 ,  C23C16/56 ,  H01B5/14

Abstract: 本发明公开一种纤维素基铝掺杂氧化锌透明导电材料的制备方法，采用透明纤维素薄膜作为衬底，在上面生长一层高导电性、高透光率的铝掺杂氧化锌透明导电层，进而退火提高铝掺杂氧化锌透明导电层的光学和电学性能，得到高导电性、高透光率的柔性纤维素基透明导电复合材料；生长所用的透明纤维素薄膜衬底为纳米纤维素膜、再生纤维素膜或细菌纤维素膜；氧化锌材料在氢等离子体中具有更好的稳定性，有利于降低后续电子器件的制备工艺要求，降低电子器件的整体生产成本。

公开(公告)号：CN106205876A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201610784630.1

申请日：2016-08-31

Applicant: 福建农林大学

Inventor： 陈礼辉 ,  杨海洋 ,  黄六莲 ,  曹石林 ,  郑清洪

IPC: H01B13/00

Abstract: 本发明公开一种柔性纤维素基透明导电材料的制备方法，涉及导电纤维素薄膜的制备，尤其是涉及一种采用四步骤制备纤维素薄膜导电材料的方法。提供一种高导电性、高透光率的基于纤维素衬底的透明导电材料的制备方法。通过磁控溅射在纤维素薄膜衬底上生长第一层氧化铟锡（ITO）导电层，进而在第一层ITO上生长第二层银（Ag）导电层，在第二层Ag导电层上生长第三层ITO导电层，退火得到高导电性、高透光率的ITO/Ag/ITO/纤维素”柔性纤维素基透明导电材料。

公开(公告)号：CN106847954B

公开(公告)日：2018-05-01

申请号：CN201710039053.8

申请日：2017-01-18

Applicant: 福建农林大学

Inventor： 郑清洪 ,  陈礼辉 ,  黄六莲 ,  欧阳新华 ,  杨海洋

IPC: H01L31/032 ,  H01L31/109 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开一种垂直结构ZnMgO自驱动日盲紫外光电探测器面阵及其制备方法，具体是指在透明衬底上生长一层超宽带隙、高载流子浓度的掺杂ZnxMg1‑xO薄膜作为透明导电窗口层；再生长一层日盲带隙、低载流子浓度的掺杂ZnyMg1‑yO薄膜作为n型层；进而生长一层NizMg1‑zO薄膜作为p型层；刻蚀掉部分p型层和n型层，露出部分透明导电窗口层；在露出的透明导电窗口层上制备n型环形共电极，在p型层上制备p型阵列电极；最终获得垂直结构ZnMgO自驱动日盲紫外光电探测器面阵。本发明利用ZnyMg1‑yO/NizMg1‑zO异质pn结实现日盲紫外信号的自驱动探测；利用超宽带隙透明导电窗口层大大提高器件的光电性能；探测器为垂直结构，通过制备共电极和阵列电极可实现面阵的制备，并应用于日盲紫外信号的成像和追踪。