一种位移式多分量微小力传感器
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116558682A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202310433266.4

    申请日:2023-04-21

    Applicant: 福州大学

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种位移式多分量微小力传感器,通过将光源发射的光经过光纤耦合器分成多束光,将3根光纤的反射段长度与弹性体的形变耦合,以构成多个腔长不同的FP干涉传感器;通过采集到的叠加在一起的多个FP腔光谱干涉信号,对叠加的干涉信号进行傅里叶变换,得到FP腔的长度,再进一步解算获得力多分量的值。能实现纳米量级的高精度测量。该传感器结构简单、分辨率高、抗电磁干扰强、灵敏度高,滞后、蠕变和进回程差小,动态响应速度快。

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