一种具有氧化铝多孔结构缓冲层的内热式一体化蒸发舟

    公开(公告)号:CN107326330B

    公开(公告)日:2019-03-12

    申请号:CN201710519890.0

    申请日:2017-06-30

    Applicant: 福州大学

    Abstract: 本发明公开了一种具有氧化铝多孔结构缓冲层的内热式一体化蒸发舟,所述蒸发舟的表面涂层总共包括两层,内层呈疏松多孔结构的Al2O3缓冲层,外层为致密、低孔隙率的耐腐蚀Al2O3涂层。首先采用旋涂浸渍工艺在基体表面制备厚度为0.1~0.3mmAl2O3缓冲层;再采用等离子喷涂技术在具有缓冲层的蒸发舟上喷涂制备厚度为0.5~1mm Al2O3耐腐蚀层。本发明采用复合工艺制备不同微观结构的Al2O3涂层蒸发舟,多孔结构的缓冲层在服役中不但可以起到应力减缓作用,而且还能防止后续喷涂带来的基体氧化问题;而致密、低孔率的Al2O3喷涂层又发挥了优良的耐腐蚀性,可广泛应用于真空蒸镀金属薄膜技术领域。

    具有耐铝液腐蚀复合陶瓷涂层的内加热蒸发篮的制备方法

    公开(公告)号:CN108048779B

    公开(公告)日:2019-11-12

    申请号:CN201711388751.5

    申请日:2017-12-21

    Applicant: 福州大学

    Inventor: 李强 郑钦龙 何柯

    Abstract: 本发明公开了一种具有耐铝液腐蚀复合陶瓷涂层的内加热蒸发篮制备方法,属于真空镀膜技术领域。所述钨丝蒸发篮的表面采用热喷涂技术喷涂制备0.8mm~1.5mm复合结构Al2O3‑8YSZ耐侵蚀层。氧化铝和钇稳定氧化锆粉末以10~55wt% Al2O3:90~45wt% 8YSZ称重混合,再经球磨干燥作为喷涂材料。该喷涂材料中Al2O3的掺入对YSZ有增强增韧效果不易开裂,并且形成致密、低孔隙的Al2O3/8YSZ喷涂层,具有优良的耐腐蚀性和高温力学性能,能够显著延长盛装熔融金属的钨丝蒸发篮的服役寿命,作为一种内加热式坩埚可长久、广泛应用于真空蒸镀金属薄膜技术领域,具有十分重要的工程应用价值。

    一种具有复合陶瓷涂层的内加热蒸发舟及其制备方法

    公开(公告)号:CN107904559B

    公开(公告)日:2019-11-12

    申请号:CN201711388873.4

    申请日:2017-12-21

    Applicant: 福州大学

    Abstract: 本发明公开了一种具有耐铝液腐蚀复合陶瓷涂层的内加热蒸发舟及其制备方法,所述高纯钨舟表面采用等离子喷涂法工艺制备厚度为0.5~0.8mm复合结构的Al2O3‑8YSZ陶瓷层。氧化铝和钇稳定氧化锆粉末以不同质量比(10~55wt% Al2O3:90~45wt%8YSZ)称重混合成均匀的喷涂材料。等离子喷涂技术是采用等离子弧作为热源,将陶瓷、合金、金属等材料加热至熔融或半熔融状态,能将Al2O3/8YSZ复合粉末充分熔化并高速喷向工件表面而形成附着牢固的表面防护涂层。

    一种具有氧化铝多孔结构缓冲层的内热式一体化蒸发篮

    公开(公告)号:CN107245698B

    公开(公告)日:2019-03-12

    申请号:CN201710519475.5

    申请日:2017-06-30

    Applicant: 福州大学

    Abstract: 本发明公开了一种具有氧化铝多孔结构缓冲层的内热式一体化蒸发篮,所述蒸发篮表面涂层总共包括两层,内层呈疏松多孔结构的Al2O3缓冲层,外层为致密、低孔隙率的耐腐蚀Al2O3涂层,采用旋涂浸渍工艺在基体表面制备厚度为0.15~0.5mmAl2O3缓冲层;再采用等离子喷涂技术在具有缓冲层的蒸发篮上喷涂制备厚度为0.5~1mm Al2O3耐腐蚀层。本发明采用复合工艺制备不同微观结构的Al2O3涂层蒸发篮,多孔结构的缓冲层在服役中不但可以起到应力减缓作用,而且还能防止后续喷涂带来的基体氧化问题;而致密、低孔率的Al2O3喷涂层又发挥了优良的耐腐蚀性,该蒸发篮可长久、广泛应用于真空蒸镀金属薄膜技术领域。

    具有耐铝液腐蚀复合陶瓷涂层的内加热蒸发篮的制备方法

    公开(公告)号:CN108048779A

    公开(公告)日:2018-05-18

    申请号:CN201711388751.5

    申请日:2017-12-21

    Applicant: 福州大学

    Inventor: 李强 郑钦龙 何柯

    Abstract: 本发明公开了一种具有耐铝液腐蚀复合陶瓷涂层的内加热蒸发篮制备方法,属于真空镀膜技术领域。所述钨丝蒸发篮的表面采用热喷涂技术喷涂制备0.8mm~1.5mm复合结构Al2O3‑8YSZ耐侵蚀层。氧化铝和钇稳定氧化锆粉末以10~55wt%Al2O3:90~45wt%8YSZ称重混合,再经球磨干燥作为喷涂材料。该喷涂材料中Al2O3的掺入对YSZ有增强增韧效果不易开裂,并且形成致密、低孔隙的Al2O3/8YSZ喷涂层,具有优良的耐腐蚀性和高温力学性能,能够显著延长盛装熔融金属的钨丝蒸发篮的服役寿命,作为一种内加热式坩埚可长久、广泛应用于真空蒸镀金属薄膜技术领域,具有十分重要的工程应用价值。

    一种具有复合陶瓷涂层的内加热蒸发舟及其制备方法

    公开(公告)号:CN107904559A

    公开(公告)日:2018-04-13

    申请号:CN201711388873.4

    申请日:2017-12-21

    Applicant: 福州大学

    Abstract: 本发明公开了一种具有耐铝液腐蚀复合陶瓷涂层的内加热蒸发舟及其制备方法,所述高纯钨舟表面采用等离子喷涂法工艺制备厚度为0.5~0.8mm复合结构的Al2O3-8YSZ陶瓷层。氧化铝和钇稳定氧化锆粉末以不同质量比(10~55wt%Al2O3:90~45wt%8YSZ)称重混合成均匀的喷涂材料。等离子喷涂技术是采用等离子弧作为热源,将陶瓷、合金、金属等材料加热至熔融或半熔融状态,能将Al2O3/8YSZ复合粉末充分熔化并高速喷向工件表面而形成附着牢固的表面防护涂层。

    一种具有氧化铝多孔结构缓冲层的内热式一体化蒸发舟

    公开(公告)号:CN107326330A

    公开(公告)日:2017-11-07

    申请号:CN201710519890.0

    申请日:2017-06-30

    Applicant: 福州大学

    CPC classification number: C23C14/26 C23C14/243 C23C28/04

    Abstract: 本发明公开了一种具有氧化铝多孔结构缓冲层的内热式一体化蒸发舟,所述蒸发舟的表面涂层总共包括两层,内层呈疏松多孔结构的Al2O3缓冲层,外层为致密、低孔隙率的耐腐蚀Al2O3涂层。首先采用旋涂浸渍工艺在基体表面制备厚度为0.1~0.3mmAl2O3缓冲层;再采用等离子喷涂技术在具有缓冲层的蒸发舟上喷涂制备厚度为0.5~1mm Al2O3耐腐蚀层。本发明采用复合工艺制备不同微观结构的Al2O3涂层蒸发舟,多孔结构的缓冲层在服役中不但可以起到应力减缓作用,而且还能防止后续喷涂带来的基体氧化问题;而致密、低孔率的Al2O3喷涂层又发挥了优良的耐腐蚀性,可广泛应用于真空蒸镀金属薄膜技术领域。

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